[實(shí)用新型]一種鈦基鉑膜微天平傳感器有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201320232818.7 | 申請(qǐng)日： | 2013-05-03 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN203203669U | 公開(kāi)（公告）日： | 2013-09-18 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 曹忠;曹婷婷;吳玲;黃大凱;宋天銘;肖忠良 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人： | 長(zhǎng)沙理工大學(xué) |
| 主分類(lèi)號(hào)： | G01G3/16 | 分類(lèi)號(hào)： | G01G3/16 |
| 代理公司： | 暫無(wú)信息 | 代理人： | 暫無(wú)信息 |
| 地址： | 410004 湖南省長(zhǎng)沙市雨花區(qū)萬(wàn)家*** | 國(guó)省代碼： | 湖南;43 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 鈦基鉑膜微 天平 傳感器 | ||
【權(quán)利要求書(shū)】：
1.一種鈦基鉑膜微天平傳感器，其特征是：該傳感器包括一個(gè)石英晶體片(1)，所述石英晶體片(1)表面是鍍鈦膜層(2)，所述鍍鈦膜層(2)表面是鍍鉑膜層(3)，形成一種鈦基鉑膜微天平傳感器。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微天平傳感器，其特征在于所述鍍鈦膜層(2)厚度為1?~?50?nm。
3.?根據(jù)權(quán)利要求1所述的微天平傳感器，其特征在于所述鍍鉑膜層(3)厚度為20?~?400?nm。
4.?根據(jù)權(quán)利要求1所述的微天平傳感器，其特征在于所述石英晶體片(1)為AT切型石英晶體，其基頻為4?~?50?MHz。
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