[實用新型]氣刀

有效

• 申請號: 201320226454.1
• 申請日: 2013-04-28
• 公開（公告）號: CN203274456U
• 公開（公告）日: 2013-11-06
• 發明（設計）人: 張鋒
• 申請（專利權）人: 康可電子(無錫)有限公司
• 主分類號: F26B21/12
• 分類號: F26B21/12
• 代理公司: 無錫華源專利事務所(普通合伙) 32228
• 代理人: 馮智文

技術領域

本實用新型涉及氣刀裝置，尤其涉及適用于裂片裝置中的氣刀。

背景技術

氣刀，也稱作風刀，是最常用的干燥設備之一，廣泛應用于各種工業領域中，用于吹氣除塵、去液干燥、降溫冷卻。氣刀結構通常包括進氣口、氣腔室以及排氣口等，進氣口通常位于底面中央或兩側，排氣口通常為至少一條縫隙或至少一排小孔結構。現有技術中的風刀通常是作為一種干燥裝置使用，其結構的改進也是針對排氣口處的氣幕的大小和流速的調節方面，為使排氣口的氣幕流速均勻穩定，而將氣刀運用到半導體制程中的裂片工藝技術領域的改進相對較少。風吹式裂片機用于半導體制程中的裂片工藝中，用來實現晶粒從晶圓上的最終分離，由于裂片機與晶圓間隔一定距離，為非接觸式分離，從而避免了晶粒玻璃碎片對晶粒的二次損傷，然而裂片機中的氣刀與晶圓間距很小，而且晶圓厚度本身存有一定誤差，這使得氣刀底端很容易對裂開后的晶粒造成擠壓或者翹起破壞。

實用新型內容

本申請人針對現有技術中的上述缺點進行改進，提供一種氣刀，其結構簡單，能對晶圓晶粒進行前后預壓，避免晶粒錯位擠壓和翹起破壞，從而提高裂片良率。

本實用新型的技術方案如下：

氣刀，包括進氣口、出氣口以及與進氣口和出氣口均連通的氣腔室，氣腔室設置在下腔板內部，氣腔室帶有上部開口，并沿著下腔板的長度方向延伸；下腔板與氣腔室連通的壁上設有進氣口；下腔板帶有斜面一，斜面一通過基準面一過渡到上端面，氣腔室設置在靠近基準面一側；上端面上設有安裝孔；還包括上蓋板，上蓋板的下端面與下腔板的上端面配合安裝，在上端面與下端面之間裝配有調整墊片，調整墊片的寬度小于上端面的寬度，調整墊片的裝配，使下端面與上端面之間留有縫隙，所述縫隙形成出氣口；上蓋板上設有通孔，通孔與安裝孔位置對應；上蓋板帶有斜面二，斜面二通過基準面二過渡到下端面；斜面一、基準面一、出氣口、基準面二及斜面二構成預壓凸臺。

其進一步技術方案為：

所述進氣口包括下腔板兩側的進氣口一和開有安裝孔一側的進氣口二。

所述斜面一與基準面一、斜面二與基準面二成銳角設置。

所述下腔板帶有固定側，固定側與基準面一相對，固定側上設置有固定孔。

所述氣腔室的內側腔壁上噴涂有降噪材料。

本實用新型的技術效果：

本實用新型結構簡單，通過在狹縫出氣口處預壓凸臺的設置，在裂片時壓縮空氣帶動周圍氣流在預壓凸臺處匯合并形成高速、高容量的氣流后吹向晶圓面，能對晶圓上晶粒的裂片部位產生前后預壓作用，從而可避免晶粒錯位擠壓，保證裂開部位不產生翹起破壞，提高裂片良率。

附圖說明

圖1為本實用新型的立體圖。

圖2為圖1的A-A剖視圖。

圖3為圖2中Ⅰ部的放大圖。

圖4為下腔板的立體圖。

圖5為下腔板的的側視圖。

圖6為上蓋板的立體圖。

圖7為上蓋板的側視圖。

具體實施方式

下面結合附圖，說明本實用新型的具體實施方式。

見圖1、圖2、圖3，本實用新型由下腔板3與上蓋板4裝配而成，包括進氣口1、出氣口2以及與進氣口1和出氣口2均連通的氣腔室31，氣腔室31設置在下腔板3內部，下腔板3與上蓋板4之間裝配有墊片5，調整墊片5的寬度小于下腔板3的寬度，調整墊片5的裝配，使下腔板3與上蓋板4之間留有縫隙，所述縫隙形成出氣口2。

見圖4、圖5，氣腔室31帶有上部開口，并沿著下腔板3的長度方向延伸，下腔板3與氣腔室31連通的壁上設有進氣口1，下腔板3帶有斜面一33，斜面一33通過基準面一34過渡到上端面32，斜面一33與基準面一34成銳角設置；氣腔室31設置在靠近基準面34一側，上端面32上設有安裝孔35；進氣口1包括下腔板1兩側的進氣口一11和開有安裝孔35一側的進氣口二12；下腔板3帶有固定側36，固定側36與基準面一34相對，固定側上設置有固定孔37。

見圖6、圖7，上蓋板4包括下端面41，下端面41與下腔板3的上端面32配合安裝，上蓋板4上設有通孔42，通孔42與安裝孔35位置對應；上蓋板4帶有斜面二43，斜面二43通過基準面二44過渡到下端面41，斜面二43與基準面二44成銳角設置。

調整墊片（5）裝配在上端面32與下端面41之間，調整墊片5的寬度小于上端面32的寬度，調整墊片5的裝配，使上蓋板2的下端面41與下腔板3的上端面32之間留有縫隙，所述縫隙形成出氣口2。

見圖1，斜面一33、基準面一34、出氣口2、基準面二44及斜面二43構成預壓凸臺6。

本實用新型的運行過程如下：