[實(shí)用新型]基于電容的催化燃燒型甲烷濃度傳感結(jié)構(gòu)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201320225538.3
• 申請(qǐng)日: 2013-04-28
• 公開（公告）號(hào): CN203241374U
• 公開（公告）日: 2013-10-16
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張渤
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 西安科技大學(xué)
• 主分類號(hào): G01N27/22
• 分類號(hào): G01N27/22
• 代理公司: 西安創(chuàng)知專利事務(wù)所 61213
• 代理人: 馬斌

1.基于電容的催化燃燒型甲烷濃度傳感結(jié)構(gòu)，其特征在于：包括基底（5）以及設(shè)置在基底（5）上的支柱一（1）和支柱二（2），所述支柱一（1）與支柱二（2）之間設(shè)置有用于構(gòu)成平板電容器的極板一（10）和極板二（11），所述極板一（10）安裝在基底（5）的上表面，所述極板二（11）的一側(cè)邊通過連接梁一（6）與支柱一（1）相連接，所述極板二（11）的另一側(cè)邊通過連接梁二（7）與支柱二（2）相連接，所述連接梁一（6）和連接梁二（7）的上表面均設(shè)置有由電阻絲制成的加熱層（12），所述加熱層（12）的上表面設(shè)置有用于在受熱時(shí)產(chǎn)生彎曲變形的變形層（13），所述變形層（13）的上表面設(shè)置有用于附著催化劑的薄膜層（14），所述薄膜層（14）的上表面設(shè)置有用于與甲烷氣體發(fā)生無焰燃燒的催化劑層（15）。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于電容的催化燃燒型甲烷濃度傳感結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述基底（5）上設(shè)置有與支柱一（1）同側(cè)布設(shè)的支柱三（3）和與支柱二（2）同側(cè)布設(shè)的支柱四（4），所述支柱三（3）通過連接梁三（8）與極板二（11）相連接，所述支柱四（4）通過連接梁四（9）與極板二（11）相連接，所述連接梁三（8）和連接梁四（9）的上表面均設(shè)置有由電阻絲制成的加熱層（12），所述加熱層（12）的上表面設(shè)置有用于在受熱時(shí)產(chǎn)生彎曲變形的變形層（13），所述變形層（13）的上表面設(shè)置有用于附著催化劑的薄膜層（14），所述薄膜層（14）的上表面設(shè)置有用于與甲烷氣體發(fā)生無焰燃燒的催化劑層（15）。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的基于電容的催化燃燒型甲烷濃度傳感結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述基底（5）、支柱一（1）、支柱二（2）、支柱三（3）、支柱四（4）、連接梁一（6）、連接梁二（7）、連接梁三（8）和連接梁四（9）均由硅制成。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于電容的催化燃燒型甲烷濃度傳感結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述基底（5）上設(shè)置有用于將支柱一（1）、支柱二（2）和基底（5）罩住的殼體（16），所述殼體（16）上設(shè)置有多個(gè)供甲烷氣體進(jìn)入殼體（16）內(nèi)且阻止灰塵進(jìn)入殼體（16）內(nèi)的透氣孔（17）。