[實用新型]一種光纖預制棒的制造設備

有效

• 申請號: 201320222970.7
• 申請日: 2013-04-27
• 公開（公告）號: CN203269780U
• 公開（公告）日: 2013-11-06
• 發明（設計）人: 謝康;陶偉;錢宜剛;吳椿烽;沈一春
• 申請（專利權）人: 中天科技精密材料有限公司
• 主分類號: C03B37/018
• 分類號: C03B37/018
• 代理公司: 南京君陶專利商標代理有限公司 32215
• 代理人: 奚勝元

1.一種光纖預制棒的制造設備，其特征在于：包括塔體、預制棒沉積腔體、電機一、電機二、卡盤、絲桿、金屬吊桿、導軌、石英腔體、石英靶棒、石英噴燈一、石英噴燈二、SiCl₄原料罐、GeCl₄原料罐、液態Ar儲罐、液態O₂儲罐、H₂儲罐、氣體控制柜、電磁閥一、電磁閥二、中央處理器、紅外熱像儀、排風管、前處理塔、電除塵塔和洗滌塔；

在石英腔體上方安裝預制棒沉積腔體，在塔體上安裝導軌，卡盤與絲桿相連，電機一控制絲桿旋轉，以使卡盤沿導軌上升和下降，電機二控制卡盤旋轉；金屬吊桿裝夾在卡盤上，石英靶棒裝入金屬吊桿中，用于在沉積過程中附著粉末；

石英噴燈一、石英噴燈二分別安裝在石英腔體右側，石英噴燈一和石英噴燈二的噴燈口在石英腔體內部；

SiCl₄原料罐、GeCl₄原料罐、液態Ar儲罐、液態O₂儲罐、H₂儲罐中的氣體分別通過管道進入氣體控制柜內部，由質量流量控制器MFC控制氣體流量，并繼續分別經管道進入石英噴燈一、石英噴燈二；

石英腔體左側安裝有紅外熱像儀，紅外熱像儀通過信號線與中央處理器相連；與石英噴燈一、石英噴燈二相連的H₂管路上分別裝有電磁閥一、電磁閥二，通過控制線與中央處理器相連；

石英腔體左上部設置有排風管，排風管與前處理塔相連通，前處理塔通過管道與電除塵塔相連，電除塵塔通過管道與洗滌塔相連，用于收集、處理反應過程中產生的尾氣。

2.根據權利要求1所述的一種光纖預制棒的制造設備，其特征在于：所述的氣體控制柜內安裝有若干臺質量流量控制器MFC,?由安裝在主控柜電腦上的程序控制其流量。

3.根據權利要求1所述的一種光纖預制棒的制造設備，其特征在于：所述的中央控制器接收紅外熱像儀的反饋信號，計算溫度偏差，并運用PlD控制原理控制H₂管路上的電磁閥一、電磁閥二開度，以調節進入石英噴燈一、石英噴燈二的H₂氣流量。