[實用新型]一種曝光機臺框內(nèi)部的加濕結構有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201320220143.4 | 申請日： | 2013-04-26 |
| 公開（公告）號： | CN203275873U | 公開（公告）日： | 2013-11-06 |
| 發(fā)明（設計）人： | 袁強;劉長征 | 申請（專利權）人： | 東莞市海圣光電科技有限公司 |
| 主分類號： | G03F7/20 | 分類號： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 東莞市中正知識產(chǎn)權事務所 44231 | 代理人： | 劉林 |
| 地址： | 523000 廣東省東莞市長安*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 曝光 機臺 內(nèi)部 加濕 結構 | ||
1.一種曝光機臺框內(nèi)部的加濕結構，其特征在于：主要包括一真空泵，電池閥，給油器以及氣源處理器；所述真空泵與電池閥聯(lián)接，氣源處理器與給油器聯(lián)接，而給油器則與電池閥聯(lián)接。
2.根據(jù)權利要求1所述的一種曝光機臺框內(nèi)部的加濕結構，其特征在于：所述真空泵與電池閥之間裝設有一調(diào)壓閥。
3.根據(jù)權利要求2所述的一種曝光機臺框內(nèi)部的加濕結構，其特征在于：所述調(diào)壓閥為真空調(diào)壓閥。
4.根據(jù)權利要求1所述的一種曝光機臺框內(nèi)部的加濕結構，其特征在于：所述電池閥由相互并聯(lián)的上電池閥和下電池閥構成。
5.根據(jù)權利要求1或4所述的一種曝光機臺框內(nèi)部的加濕結構，其特征在于：所述給油器與下電池閥聯(lián)接。
6.根據(jù)權利要求1所述的一種曝光機臺框內(nèi)部的加濕結構，其特征在于：所述電池閥與給油器的聯(lián)接處裝設有一過濾裝置。
7.根據(jù)權利要求6所述的一種曝光機臺框內(nèi)部的加濕結構，其特征在于：所述過濾裝置為真空過濾器。
8.根據(jù)權利要求6所述的一種曝光機臺框內(nèi)部的加濕結構，其特征在于：所述過濾裝置與一壓力檢測裝置聯(lián)接。
9.根據(jù)權利要求1所述的一種曝光機臺框內(nèi)部的加濕結構，其特征在于：所述給油器上設有調(diào)節(jié)霧量大小的調(diào)節(jié)旋鈕。
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