[實用新型]激光器的溫度控制系統

有效

• 申請號: 201320218399.1
• 申請日: 2013-04-26
• 公開（公告）號: CN203300946U
• 公開（公告）日: 2013-11-20
• 發明（設計）人: 馮澤斌;賀躍坡;王魁波;劉斌;沙鵬飛;韓曉泉;丁金濱;周翊
• 申請（專利權）人: 中國科學院光電研究院
• 主分類號: H01S3/041
• 分類號: H01S3/041;G05D23/30
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 宋焰琴

1.一種用于激光器的溫控系統，所述激光器包括放電腔、磁壓縮器和固體開關，所述溫控系統包括所述放電腔的腔體溫控系統、所述磁壓縮器的水冷裝置、所述固體開關的水冷裝置、主管道和多個支管道，其中，?

所述主管道分別連接于各支管道，各支管道包括所述腔體溫控系統的水冷管道、磁壓縮器的水冷裝置的水冷管道，以及固體開關的水冷管道；所述主管道與一水冷機進行連接，用于為整個溫控系統提供冷卻水。?

2.如權利要求1所述的用于激光器的溫控系統，其特征在于：?

所述腔體溫控系統包括溫度傳感器、控制器和熱交換器、所述熱交換器的提供冷卻水的管道以及設置于所述管道上的流量控制器；?

所述溫度傳感器實時監測所述放電腔內的氣體溫度，并把溫度數據傳送給所述控制器，所述控制器根據所述溫度數據，并結合其內部存儲的目標溫度值進行邏輯運算，產生控制信號并將控制信號發送給所述流量控制器，所述流量控制器根據接收到的控制信號對冷卻水流量進行自動調節，從而完成對所述放電腔內氣體溫度的控制。?

3.如權利要求2所述的用于激光器的溫控系統，其特征在于：所述控制器為編程器，當所述溫度傳感器測量的放電腔的溫度大于一個設定溫度時，所述編程器以一定比例調節所述流量控制器。?

4.如權利要求3所述的用于激光器的溫控系統，其特征在于：?

當所述溫度傳感器測得溫度大于所述設定溫度，且其差值大于一個閾值時，所述編程器控制所述流量控制器全開；?

當所述溫度傳感器測得溫度大于設定溫度，但其差值未超過所述閾值時，所述編程器控制流量控制器根據該差值調節流量為線性調節量P₁。?

5.如權利要求4所述的用于激光器的溫控系統，其特征在于：所述編程器還每隔一個設定時間計算此時采集到的溫度的超調和上一時刻的溫度超調的差值，根據該溫度超調差值計算得到一個補償流量調節值ΔP，所述流量控制器根據P₁+ΔP調節流量。?

6.如權利要求5所述的用于激光器的溫控系統，其特征在于：所述補償流量調節值ΔP等于所述該溫度超調差值乘以一個經驗系數u。?

7.如權利要求1至6中任一項所述的用于激光器的溫控系統，其特征在于：所述溫控系統包括出水口、回水口、過濾器、分流器、電磁閥、球閥和沖量開關，各個部件通過管道相互連接，其中出水口與水冷機相連。?

8.如權利要求7所述的用于激光器的溫控系統，其特征在于：所述出水口用于向整個系統提供冷卻水，該出水口通過所述主管道依次經過所述過濾器、電磁閥連接至分流器，由所述分流器將水流分出并聯的多路，使之分別通過所述腔體溫控系統的水冷裝置、磁壓縮器的水冷裝置以及固態開關的水冷裝置。?

9.如權利要求7所述的用于激光器的溫控系統，其特征在于：所述放電腔有多個，每個放電腔對應一個磁壓縮器和一個固態開關。?

10.如權利要求9所述的用于激光器的溫控系統，其特征在于：所述各放電腔的腔體溫控系統的水冷裝置的支管道并聯；所述各磁壓縮器的水冷裝置的管道并聯，所述固態開關的水冷裝置的管道串聯。?