[實(shí)用新型]旋轉(zhuǎn)密封裝置及使用該旋轉(zhuǎn)密封裝置的勻膠機(jī)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201320216804.6
• 申請(qǐng)日: 2013-04-25
• 公開（公告）號(hào): CN203221007U
• 公開（公告）日: 2013-10-02
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王友旺;林盛浩
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 深圳深愛半導(dǎo)體股份有限公司
• 主分類號(hào): B05C11/08
• 分類號(hào): B05C11/08
• 代理公司: 廣州華進(jìn)聯(lián)合專利商標(biāo)代理有限公司 44224
• 代理人: 吳平

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及一種旋轉(zhuǎn)密封裝置及使用該旋轉(zhuǎn)密封裝置的勻膠機(jī)。

背景技術(shù)

勻膠機(jī)廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、微電子、生物材料、光學(xué)等領(lǐng)域，主要用于在基片上涂制薄膜。勻膠機(jī)的工作原理是利用離心力，使滴在基片上的膠液均勻的涂布在基片上，從而形成不同厚度的薄膜。

勻膠機(jī)采用真空吸附旋轉(zhuǎn)，傳統(tǒng)的勻膠機(jī)的真空部分的密封是采用銅制作的密封環(huán)，銅制作的密封環(huán)磨損太多容易產(chǎn)生碎片，碎片或光刻膠進(jìn)入到真空部分后清理維護(hù)工作非常麻煩。

實(shí)用新型內(nèi)容

基于此，有必要提供一種易于清洗的旋轉(zhuǎn)密封裝置及使用該旋轉(zhuǎn)密封裝置的勻膠機(jī)。

一種旋轉(zhuǎn)密封裝置，包括：

軸套，所述軸套內(nèi)設(shè)有內(nèi)腔，所述軸套的側(cè)壁開設(shè)有與所述內(nèi)腔相通的通孔；

可轉(zhuǎn)動(dòng)地設(shè)置在所述內(nèi)腔內(nèi)的旋轉(zhuǎn)軸，所述旋轉(zhuǎn)軸內(nèi)設(shè)有空腔，所述空腔的一個(gè)開口開設(shè)在所述旋轉(zhuǎn)軸的側(cè)壁，所述空腔的另一個(gè)開口開設(shè)在所述旋轉(zhuǎn)軸的端部；

固定在所述軸套的兩端的兩個(gè)軸封，所述旋轉(zhuǎn)軸的兩端分別穿出兩個(gè)所述軸封。

在一個(gè)實(shí)施例中，所述軸封為橡膠軸封。

在一個(gè)實(shí)施例中，所述軸套的內(nèi)側(cè)設(shè)有與所述軸封對(duì)應(yīng)的軸封卡口。

在一個(gè)實(shí)施例中，還包括軸承，所述旋轉(zhuǎn)軸通過所述軸承與所述軸套可轉(zhuǎn)動(dòng)連接。

在一個(gè)實(shí)施例中，所述旋轉(zhuǎn)軸設(shè)有軸承卡口，所述軸承套在所述旋轉(zhuǎn)軸的外壁并固定在所述軸承卡口處。

在一個(gè)實(shí)施例中，所述軸承和所述軸封接觸，所述軸承將所述軸封固定。

一種勻膠機(jī)，包括旋轉(zhuǎn)密封裝置，所述旋轉(zhuǎn)密封裝置包括：

軸套，所述軸套內(nèi)設(shè)有內(nèi)腔，所述軸套的側(cè)壁開設(shè)有與所述內(nèi)腔相通的通孔；

可轉(zhuǎn)動(dòng)地設(shè)置在所述內(nèi)腔內(nèi)的旋轉(zhuǎn)軸，所述旋轉(zhuǎn)軸內(nèi)設(shè)有空腔，所述空腔的一個(gè)開口開設(shè)在所述旋轉(zhuǎn)軸的側(cè)壁，所述空腔的另一個(gè)開口開設(shè)在所述旋轉(zhuǎn)軸的端部；

固定在所述軸套的兩端的兩個(gè)軸封，所述旋轉(zhuǎn)軸的兩端分別穿出兩個(gè)所述軸封。

在一個(gè)實(shí)施例中，所述軸封為橡膠軸封。

在一個(gè)實(shí)施例中，所述旋轉(zhuǎn)密封裝置還包括軸承，所述旋轉(zhuǎn)軸通過所述軸承與所述軸套可轉(zhuǎn)動(dòng)連接。

在一個(gè)實(shí)施例中，所述旋轉(zhuǎn)軸設(shè)有軸承卡口，所述軸承套在所述旋轉(zhuǎn)軸的外壁并固定在所述軸承卡口處。

上述旋轉(zhuǎn)密封裝置及使用該旋轉(zhuǎn)密封裝置的勻膠機(jī)，軸套和旋轉(zhuǎn)軸的兩端通過軸封密封，軸封耐磨損不易產(chǎn)生碎片，且光刻膠不易進(jìn)入內(nèi)腔，同時(shí)，軸封的安裝和拆卸都比較方便，易于清洗。

附圖說(shuō)明

圖1為一實(shí)施方式的旋轉(zhuǎn)密封裝置的剖面結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為一實(shí)施方式的軸套的剖面結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3為一實(shí)施方式的旋轉(zhuǎn)軸的剖面結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實(shí)施方式

為了便于理解本實(shí)用新型，下面將參照相關(guān)附圖對(duì)本實(shí)用新型的電熱絲切帶機(jī)進(jìn)行更全面的描述。附圖中給出了本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例。但是，本實(shí)用新型可以以許多不同的形式來(lái)實(shí)現(xiàn)，并不限于本文所描述的實(shí)施例。相反地，提供這些實(shí)施例的目的是使對(duì)本實(shí)用新型的公開內(nèi)容的理解更加透徹全面。

需要說(shuō)明的是，當(dāng)元件被稱為“固定于”另一個(gè)元件，它可以直接在另一個(gè)元件上或者也可以存在居中的元件。當(dāng)一個(gè)元件被認(rèn)為是“連接”另一個(gè)元件，它可以是直接連接到另一個(gè)元件或者可能同時(shí)存在居中元件。

除非另有定義，本文所使用的所有的技術(shù)和科學(xué)術(shù)語(yǔ)與屬于本實(shí)用新型的技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員通常理解的含義相同。本文中在本實(shí)用新型的說(shuō)明書中所使用的術(shù)語(yǔ)只是為了描述具體的實(shí)施例的目的，不是旨在于限制本實(shí)用新型。本文所使用的術(shù)語(yǔ)“及／或”包括一個(gè)或多個(gè)相關(guān)的所列項(xiàng)目的任意的和所有的組合。

如圖1所示，一實(shí)施方式的旋轉(zhuǎn)密封裝置10，包括：

軸套110，軸套110內(nèi)設(shè)有內(nèi)腔120，軸套110的側(cè)壁開設(shè)有與內(nèi)腔120相通的通孔130。

可轉(zhuǎn)動(dòng)地設(shè)置在內(nèi)腔120內(nèi)的旋轉(zhuǎn)軸140，旋轉(zhuǎn)軸140內(nèi)設(shè)有空腔150，空腔150的一個(gè)開口開設(shè)在旋轉(zhuǎn)軸140的側(cè)壁，空腔150的另一個(gè)開口開設(shè)在旋轉(zhuǎn)軸140的端部。

固定在軸套110的兩端的兩個(gè)軸封160，旋轉(zhuǎn)軸140的兩端分別穿出兩個(gè)軸封160。

旋轉(zhuǎn)密封裝置10還可以包括軸承170。旋轉(zhuǎn)軸140通過軸承170與軸套110可轉(zhuǎn)動(dòng)連接。軸承170和軸封160接觸，軸承170將軸封160固定，使軸封160的密封效果更好。

旋轉(zhuǎn)軸140開設(shè)有空腔150的一端與吸盤（圖未示）固定連接，旋轉(zhuǎn)軸140的另一端與驅(qū)動(dòng)裝置180的軸通過聯(lián)軸器190連接。驅(qū)動(dòng)裝置180驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)軸140在軸套110中旋轉(zhuǎn)。