[實用新型]標(biāo)識對位裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201320212319.1 | 申請日： | 2013-04-24 |
| 公開（公告）號： | CN203179859U | 公開（公告）日： | 2013-09-04 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 王鳳國;劉杰;王晏酩;李嘉鵬;陳磊 | 申請（專利權(quán)）人： | 北京京東方光電科技有限公司 |
| 主分類號： | H01L21/68 | 分類號： | H01L21/68;G02F1/1333 |
| 代理公司： | 北京中博世達(dá)專利商標(biāo)代理有限公司 11274 | 代理人： | 申健 |
| 地址： | 100176 北京市大*** | 國省代碼： | 北京;11 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 標(biāo)識 對位 裝置 | ||
【權(quán)利要求書】：
1.一種標(biāo)識對位裝置，包括基座、設(shè)置在所述基座上的基臺、設(shè)置在所述基臺兩側(cè)的Y向滑軌，設(shè)置在所述Y向滑軌上的X向?qū)к墸涮卣髟谟冢鯴向?qū)к壣显O(shè)置有多個識別系統(tǒng)，每個所述識別系統(tǒng)包括CCD鏡頭、CCD驅(qū)動單元以及CCD移動滑塊。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的標(biāo)識對位裝置，其特征在于，所述識別系統(tǒng)還包括距離傳感器，用于當(dāng)所述識別系統(tǒng)之間距離過小時發(fā)出警報。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的標(biāo)識對位裝置，其特征在于，所述識別系統(tǒng)的數(shù)量為4～6個。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的標(biāo)識對位裝置，其特征在于，所述CCD驅(qū)動單元包括線性馬達(dá)或者絲桿變頻馬達(dá)，用于驅(qū)動所述CCD移動滑塊，調(diào)整所述CCD鏡頭所在位置。
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H01 基本電氣元件
H01L 半導(dǎo)體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置；專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理；集成電路器件或其特殊部件的制造
H01L 半導(dǎo)體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置；專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理；集成電路器件或其特殊部件的制造
