[實用新型]一種晶體生長爐坩堝/熱屏升降裝置

有效

• 申請號: 201320211484.5
• 申請日: 2013-04-23
• 公開（公告）號: CN203284505U
• 公開（公告）日: 2013-11-13
• 發明（設計）人: 徐永亮;張國華;吳智洪
• 申請（專利權）人: 浙江昀豐新能源科技有限公司
• 主分類號: C30B35/00
• 分類號: C30B35/00
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 魏曉波

1.一種晶體生長爐坩堝/熱屏升降裝置，包括用于帶動坩堝（2）運動的坩堝升降結構和用于帶動運動熱屏（5）運動的熱屏升降結構，其特征在于，所述熱屏升降結構安裝在所述坩堝升降結構的坩堝升降盤（8）上，能夠帶動所述熱屏（5）相對于所述坩堝升降盤（8）運動。

2.根據權利要求1所述的晶體生長爐坩堝/熱屏升降裝置，其特征在于，所述坩堝升降結構包括坩堝軸（3）、坩堝升降盤（8）、升降機（11）、坩堝升降電機（36）、支架（7）和導軌（34）；所述坩堝軸（3）能夠穿過晶體生長設備爐底盤（1），其頂端固定連接于所述坩堝（2），底端固定連接于所述坩堝升降盤（8），所述坩堝升降盤（8）能夠由所述升降機（11）通過所述坩堝升降電機（36）驅動升降，所述升降機（11）固定在所述支架（7）上，在升降過程中通過所述導軌（34）進行導向。

3.根據權利要求2所述的晶體生長爐坩堝/熱屏升降裝置，其特征在于，所述坩堝軸（3）的中心設有中心孔，用于由其底部通過冷卻管（4）通入冷卻源。

4.根據權利要求3所述的晶體生長爐坩堝/熱屏升降裝置，其特征在于，所述坩堝軸（3）與第一密封法蘭（20）和第二密封法蘭（21）之間通過前卡套和后卡套進行密封。

5.根據權利要求4所述的晶體生長爐坩堝/熱屏升降裝置，其特征在于，在所述晶體生長設備爐底盤（1）上裝有第一波紋管（6），所述第一波紋管（6）與所述坩堝軸（3）相連。

6.根據權利要求1-5任意一項所述的晶體生長爐坩堝/熱屏升降裝置，其特征在于，所述熱屏升降結構包括熱屏升降軸（9）、熱屏升降盤（24）、絲杠（26）、熱屏升降電機（30）、導柱（23）；所述熱屏升降軸（9）能夠穿過所述晶體生長設備爐底盤（1），其頂端固定連接于所述熱屏（5），底端固定連接于所述熱屏升降盤（24），所述熱屏升降盤（24）能夠由所述絲杠（26）通過熱屏升降電機（30）驅動帶動升降，所述絲杠（26）安裝在所述坩堝升降盤（8）上，通過多根所述導柱（23）進行導向。

7.根據權利要求6所述的晶體生長爐坩堝/熱屏升降裝置，其特征在于，所述熱屏升降電機（30）通過同步帶（35）帶動多根所述絲杠（26）實現上下運動。

8.根據權利要求7所述的晶體生長爐坩堝/熱屏升降裝置，其特征在于，所述熱屏升降軸（9）與第三密封法蘭（37）和第四密封法蘭（38）之間通過前卡套和后卡套進行密封。

9.根據權利要求8所述的晶體生長爐坩堝/熱屏升降裝置，其特征在于，在所述晶體生長設備爐底盤（1）與所述熱屏升降軸之（9）間設有第二波紋管（18）。

10.根據權利要求9所述的晶體生長爐坩堝/熱屏升降裝置，其特征在于，所述坩堝軸（3）和所述熱屏升降軸（9）均與所述熱屏升降盤（24）通過螺母固定。