[實用新型]純氫氣工藝設(shè)備的安全連鎖裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201320209908.4
• 申請日: 2013-04-24
• 公開（公告）號: CN203240592U
• 公開（公告）日: 2013-10-16
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 陳建標;孫斌;李建立;沈曉東;馮東明;王新潮
• 申請（專利權(quán)）人: 江陰新順微電子有限公司
• 主分類號: F23G7/06
• 分類號: F23G7/06
• 代理公司: 江陰市同盛專利事務(wù)所(普通合伙) 32210
• 代理人: 唐紉蘭;曾丹

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及一種純氫氣工藝設(shè)備的安全連鎖裝置，適用于半導(dǎo)體行業(yè)。?

背景技術(shù)

半導(dǎo)體行業(yè)中使用純氫氣的設(shè)備如擴散爐較為普遍，但是很多的廠家因為缺少硬件保護和軟件的安全連鎖，導(dǎo)致時有氫氣爆鳴甚至爆炸事故的發(fā)生，給操作人員的人生安全和公私財產(chǎn)安全帶來很大的風(fēng)險。由于產(chǎn)品要求的特殊性，在工藝運行過程中，某些工藝必須在通氫氣的狀態(tài)下進行推拉硅片進出擴散爐管，這樣更是加大了作業(yè)的風(fēng)險，常用的純氫氣工藝設(shè)備有以下幾種不足之處：?

1、爐門壓緊裝置過于簡單，一旦發(fā)生氫氣爆鳴或爆炸對操作人員傷害極大；

2、排風(fēng)和其他設(shè)備排風(fēng)連接同一根管道，導(dǎo)致排風(fēng)忽大忽小，受外界影響嚴重；

3、控制氫氣流量的質(zhì)量流量計發(fā)生故障時無法第一時間得知；

4、廢氫燃燒裝置采用加熱棒加熱的燃燒方式進行廢氫燃燒，一旦加熱棒在使用一段時間后功率下降，無法正常點燃廢氫，存在極大的安全隱患；

廢棄燃燒口敞開式，受排風(fēng)影響不容易被點燃。

發(fā)明內(nèi)容

本實用新型的目的在于克服上述不足，提供一種純氫氣工藝設(shè)備的安全連鎖裝置，提高使用純氫氣工藝設(shè)備的安全可靠性。?

本實用新型的目的是這樣實現(xiàn)的：一種純氫氣工藝設(shè)備的安全連鎖裝置，包括廢氫燃燒裝置和排風(fēng)異常控制系統(tǒng)，所述廢氫燃燒裝置的排風(fēng)口與一排風(fēng)風(fēng)機的入口相連，其特征在于在所述排風(fēng)口與排風(fēng)風(fēng)機的管路上設(shè)置有風(fēng)壓表，?所述風(fēng)壓表與排風(fēng)異常控制系統(tǒng)相連，在所述排風(fēng)異常控制系統(tǒng)上分別設(shè)置有氫氣氣動閥門和聲光報警器，所述氫氣氣動閥門的出口與廢氫燃燒裝置的入口相連，在所述氫氣氣動閥門的出口與廢氫燃燒裝置的入口之間設(shè)置有氫氣MFM裝置和氫氣MFC裝置。?

所述廢氫燃燒裝置的爐門采用硬壓緊方式，通過安全栓鎖定。?

在所述廢氫燃燒裝置的廢氫點火器內(nèi)部設(shè)置點火絲，所述點火絲通過帶孔石英罩包覆。?

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型的有益效果是：?

本實用新型通過改變爐門壓緊方式提高路口作業(yè)人員的安全性，增加風(fēng)壓表檢測風(fēng)壓異常狀況，在發(fā)生風(fēng)壓異常時發(fā)出報警同時切斷風(fēng)機電源防止事故發(fā)生，同時改變廢氫的燃燒方式提高廢氫的燃燒速度和充分性，確保安全。

附圖說明

圖1為本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。?

圖2為本實用新型中廢氫點火器的結(jié)構(gòu)示意圖。?

其中：?

廢氫燃燒裝置1

排風(fēng)異常控制系統(tǒng)2

排風(fēng)口3

排風(fēng)風(fēng)機4

風(fēng)壓表5

氫氣氣動閥門6

聲光報警器7

氫氣MFM裝置8

氫氣MFC裝置9

點火絲10

帶孔石英罩11。

具體實施方式

參見圖1—圖2，本實用新型涉及一種純氫氣工藝設(shè)備的安全連鎖裝置，包括廢氫燃燒裝置1和排風(fēng)異常控制系統(tǒng)2，所述廢氫燃燒裝置1的爐門采用硬壓緊方式，通過安全栓鎖定，所述廢氫燃燒裝置1的排風(fēng)口3與一排風(fēng)風(fēng)機4的入口相連，在所述排風(fēng)口3與排風(fēng)風(fēng)機4的管路上設(shè)置有風(fēng)壓表5，?所述風(fēng)壓表5與排風(fēng)異常控制系統(tǒng)2相連，在所述排風(fēng)異常控制系統(tǒng)2上分別設(shè)置有氫氣氣動閥門6和聲光報警器7，所述氫氣氣動閥門6的出口與廢氫燃燒裝置1的入口相連，當風(fēng)壓表5測得異常風(fēng)壓時將信息反饋給排風(fēng)異常控制系統(tǒng)2，排風(fēng)異常控制系統(tǒng)2立即關(guān)閉氫氣氣動閥門6切斷氫氣供給，同時切斷排風(fēng)風(fēng)機4的電源，聲光報警器7發(fā)出警報，在所述氫氣氣動閥門6的出口與廢氫燃燒裝置1的入口之間設(shè)置有氫氣MFM裝置8和氫氣MFC裝置9，所述氫氣MFM裝置8的入口與氫氣氣動閥門6的出口相連，氫氣MFM裝置8的出口與氫氣MFC裝置9的入口相連，所述氫氣MFC裝置9的出口與廢氫燃燒裝置1的入口相連，通過氫氣MFM裝置8來實時校準氫氣MFC裝置的流量和檢測其流量計是否損壞，參見圖2，將廢氫燃燒裝置1的廢氫點火器的燃燒方式由傳統(tǒng)的加熱棒燃燒方式改為點火絲燃燒方式，這樣會將排出的廢氫迅速、充分燃燒掉，保證無殘留，即在所述廢氫燃燒裝置1的廢氫點火器內(nèi)部設(shè)置點火絲10，所述點火絲10通過帶孔石英罩11包覆，可以減小排風(fēng)對點火的影響，又能讓廢氫充分的燃燒。?

通過更改軟件連鎖保證操作的安全性；?

1、廢氫燃燒裝置與軟件的連鎖：

1.1點火裝置電源沒有開啟系統(tǒng)嚴禁運行程序、嚴禁通氫氣；