[實用新型]一種基板封裝裝置有效
| 申請號: | 201320209661.6 | 申請日: | 2013-04-23 |
| 公開(公告)號: | CN203192799U | 公開(公告)日: | 2013-09-11 |
| 發明(設計)人: | 孫中元;田彪 | 申請(專利權)人: | 京東方科技集團股份有限公司 |
| 主分類號: | H01L27/32 | 分類號: | H01L27/32 |
| 代理公司: | 北京銀龍知識產權代理有限公司 11243 | 代理人: | 許靜;黃燦 |
| 地址: | 100015 *** | 國省代碼: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 封裝 裝置 | ||
1.一種基板封裝裝置,其特征在于,包括本體,所述本體包括:用于封裝基板、蒸鍍基板進行對盒的第一腔體,以及設置在所述第一腔體下方用于容納UV掩模板的第二腔體,其中所述第一腔體與所述第二腔體相互氣密性隔離,所述第二腔體的側壁上設有能夠取出UV掩模板的開口。?
2.根據權利要求1所述的基板封裝裝置,其特征在于,所述第一腔體和所述第二腔體由設置在所述本體內的一可透光的擋板分隔形成。?
3.根據權利要求2所述的基板封裝裝置,其特征在于,所述開口處設置有一用于承載UV掩模板的抽屜式結構,所述第二腔體的內側壁上設有軌道,其中所述抽屜式結構包括:?
第二腔體門;?
用于放置UV掩模板的可透光的托板,一端與所述第二腔體門固定連接,且可滑動的設置在所述軌道上。?
4.根據權利要求3所述的基板封裝裝置,其特征在于,所述托板上設有調節UV掩模板位置的調節結構。?
5.根據權利要求4所述的基板封裝裝置,其特征在于,所述調節結構包括多個設置在所述托板上的可調節式對位擋針。?
6.根據權利要求5所述的基板封裝裝置,其特征在于,所述托板與所述擋板之間具有預設距離。?
7.根據權利要求3所述的基板封裝裝置,其特征在于,所述第二腔體門遠離所述托板的一側設置有把手。?
8.根據權利要求3所述的基板封裝裝置,其特征在于,所述軌道為設置在所述第二腔體相對的內側壁上的多個滾輪。?
9.根據權利要求3-8任一項所述的基板封裝裝置,其特征在于,所述托板、所述擋板均采用石英制作。?
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L27-00 由在一個共用襯底內或其上形成的多個半導體或其他固態組件組成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共絕緣襯底上形成的無源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有專門適用于整流、振蕩、放大或切換的半導體組件并且至少有一個電位躍變勢壘或者表面勢壘的;包括至少有一個躍變勢壘或者表面勢壘的無源集成電路單元的
H01L27-14 . 包括有對紅外輻射、光、較短波長的電磁輻射或者微粒子輻射并且專門適用于把這樣的輻射能轉換為電能的,或適用于通過這樣的輻射控制電能的半導體組件的
H01L27-15 .包括專門適用于光發射并且包括至少有一個電位躍變勢壘或者表面勢壘的半導體組件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料結點的熱電元件的;包括有熱磁組件的





