[實用新型]滾筒型干法去膠作業的承載器皿組件

有效

• 申請號: 201320208921.8
• 申請日: 2013-04-24
• 公開（公告）號: CN203242605U
• 公開（公告）日: 2013-10-16
• 發明（設計）人: 潘偉;黃強;鄒洪生;李天鵬;馮東明;王新潮
• 申請（專利權）人: 江陰新順微電子有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/673
• 代理公司: 江陰市同盛專利事務所(普通合伙) 32210
• 代理人: 唐紉蘭;曾丹

技術領域

本實用新型涉及一種滾筒型干法去膠作業的輔助設備，尤其涉及一種滾筒型干法去膠機的去膠作業圓片承載器皿組件。?

背景技術

半導體生產過程中干法去膠是一種常用的工藝，根據設備的不同，圓片的承載工具同樣也不相同，同樣一個好的圓片承載工具對去膠速率和去膠均勻性有很強的相關性，目前使用的滾筒型去膠機主要是采用金屬片架作為承載圓片的器具，采用金屬片架的優點就是去膠速率快，從而使得生產效率高，但是還存在以下幾個不足之處：?

1、成本較高；

2、圓片在進出設備時由于熱脹冷縮的緣故，導致圓片需要長時間的冷卻來防止碎片，這樣就影響了生產效率；

3、金屬片架偏重，員工操作不方便；

4、存在一定的金屬沾污硅圓片風險。

以上的幾個不足之處，給員工的操作帶來了不變、降低了生產效率、對產品質量也有一定隱患。?

發明內容

本實用新型的目的在于克服上述不足，提供一種能使員工操作簡單，成本低，又不易碎片、保證產品質量，提高生產效率的滾筒型干法去膠作業的承載器皿組件。?

本實用新型的目的是這樣實現的：一種滾筒型干法去膠作業的承載器皿組件，它包括器皿和金屬叉子，所述器皿包括四根實心石英棒和兩根空心石英棒，其中兩根實心石英棒位于兩根空心石英棒的同側兩端，另外兩根實心石英棒位于所述兩根空心石英棒的另一側中間。?

位于空心石英棒兩端的實心石英棒之間的距離為113mm，中間兩根實心石英棒之間的距離為44mm。?

與現有技術相比，本實用新型的有益效果是：?

本實用新型主要是在一定的范圍內將石英棒的間距盡可能最大化，這樣可以更高效地提高去膠速率，同時適當的加大了槽寬以解決圓片由于熱脹冷縮而導致的碎片問題；另外采用金屬叉子作為石英棒進出設備的運輸工具，這樣就大大提高了操作的方便性和工作效率。

附圖說明

圖1為本實用新型的器皿結構示意圖。?

圖2為本實用新型的金屬叉子結構示意圖。?

圖3為圖1的側視圖。?

其中：?

器皿1

金屬叉子2

實心石英棒3

空心石英棒4。

具體實施方式

參見圖1—圖3，本實用新型涉及一種滾筒型干法去膠作業的承載器皿組件，包括器皿1和金屬叉子2，所述器皿1包括四根實心石英棒3和兩根空心石英棒4，其中兩根實心石英棒3位于兩根空心石英棒4的同側兩端，另外兩根實心石英棒3位于所述兩根空心石英棒4的另一側中間，位于空心石英棒4兩端的實心石英棒3之間的距離為113mm，中間兩根實心石英棒3之間的距離為44mm。?