[實用新型]一種臺平面肖特基勢壘二極管有效
| 申請號: | 201320206424.4 | 申請日: | 2013-04-23 |
| 公開(公告)號: | CN203250749U | 公開(公告)日: | 2013-10-23 |
| 發明(設計)人: | 楊忠武 | 申請(專利權)人: | 上海安微電子有限公司 |
| 主分類號: | H01L29/872 | 分類號: | H01L29/872;H01L29/06;H01L21/329 |
| 代理公司: | 暫無信息 | 代理人: | 暫無信息 |
| 地址: | 201102 上海市徐匯*** | 國省代碼: | 上海;31 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 平面 肖特基勢壘二極管 | ||
【權利要求書】:
1.一種肖特基勢壘二極管,其結構包括:以N或P型半導體為基片,在上面形成N-或P-外延層,在外延層上形成勢壘層,再形成金屬陽極,邊緣造型設置擴散保護環,并配合臺面結構,以聚酰亞胺進行臺面保護。
2.根據權利要求1所述的肖特基勢壘二極管,其特征在于,所述的邊緣造型為臺平面型,臺面和平面的PN結保護環相接,臺面深度不大于PN結深。?
3.根據權利要求1所述的肖特基勢壘二極管,其特征在于,臺面保護采用聚酰亞胺低固化溫度材料,固化溫度低于400℃,厚度大于3000?。
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