[實用新型]一種用于真空室腔體的靶材更換機構

有效

• 申請號: 201320202931.0
• 申請日: 2013-04-22
• 公開（公告）號: CN203307425U
• 公開（公告）日: 2013-11-27
• 發明（設計）人: 薛輝;昌江
• 申請（專利權）人: 蕪湖真空科技有限公司
• 主分類號: C23C14/34
• 分類號: C23C14/34
• 代理公司: 蕪湖安匯知識產權代理有限公司 34107
• 代理人: 馬榮

1.一種用于真空室腔體的靶材更換機構，其特征在于：所述更換機構包括機架（1），陰極（2）與機架（1）活動連接，陰極（2）底部與機架（1）之間通過多個伸縮缸Ⅰ（3）連接，伸縮缸Ⅰ（3）與控制部件（4）連接。?

2.根據權利要求1所述的用于真空室腔體的靶材更換機構，其特征在于：所述機架（1）包括框型的左支架（5）和框型的右支架（6），左支架（5）和右支架（6）之間通過多道橫梁（7）連接，陰極（2）通過兩個鉸鏈Ⅰ（8）分別與左支架（5）和右支架（6）連接，左支架（5）和右支架（6）之間設置連接桿（10），多個伸縮缸Ⅰ（3）的一端分別活動套裝在連接桿（10）上，多個伸縮缸Ⅰ（3）另一端分別通過多個鉸鏈Ⅲ（11）與陰極（2）的底部活動連接。?

3.根據權利要求2所述的用于真空室腔體的靶材更換機構，其特征在于：所述多個鉸鏈Ⅲ（11）設置在位于兩個鉸鏈Ⅰ（8）與陰極前端部（12）之間的位置上，真空室腔體外側設置導軌組件（13），機架（1）的左支架（5）和右支架（6）分別活動卡在導軌組件（13）的左導軌（14）和右導軌（15）上。?

4.根據權利要求2或3所述的用于真空室腔體的靶材更換機構，其特征在于：所述連接桿（10）和陰極（2）之間還設置伸縮缸Ⅱ（16），伸縮Ⅱ（16）與控制部件（4）連接，伸縮缸Ⅱ（16）的一端活動套裝在連接桿（10）上，伸縮缸Ⅱ（16）的另一端通過鉸鏈Ⅱ（9）與陰極（2）底部連接，鉸鏈Ⅱ（9）設置為位于兩個鉸鏈Ⅰ（8）與陰極后端部（17）之間的位置上。?

5.根據權利要求4所述的用于真空室腔體的靶材更換機構，其特征在于：所述左支架（5）和右支架（6）上各設置一個限位開關（18），限位開關（18）與控制部件（4）連接，所述的伸縮缸Ⅰ（3）伸出到最長位置時，陰極靶材（2）設置為呈垂直布置的結構，伸縮缸Ⅰ（3）收縮到最短位置時，陰極（2）設置為呈水平布置的結構，所述的更換機構還包括應用于固定機架（1）和導軌組件（13）的定位銷（20）。?

6.根據權利要求5所述的用于真空室腔體的靶材更換機構，其特征在于：所述的伸縮缸Ⅰ（3）包括兩個，兩個伸縮缸Ⅰ（3）一端分別套裝在連接桿（10）上，兩個伸縮缸Ⅰ（3）另一端通過兩個鉸鏈Ⅱ（9）與陰極（2）底部連接，兩個伸縮缸Ⅰ（3）分別設置為靠近左支架（5）和右支架（6）的結構。?

7.根據權利要求6所述的用于真空室腔體的靶材更換機構，其特征在于：所述伸縮缸Ⅰ（3）和伸縮缸Ⅱ（16）均采用液壓缸或均采用氣壓缸。?