[實用新型]一種具有半橢圓形微流道的壓電薄膜諧振傳感器有效
| 申請號： | 201320202499.5 | 申請日： | 2013-04-19 |
| 公開（公告）號： | CN203241062U | 公開（公告）日： | 2013-10-16 |
| 發明（設計）人： | 王璟璟;陳達;孫學軍;金熒熒;干耀國 | 申請（專利權）人： | 山東科技大學 |
| 主分類號： | G01D3/036 | 分類號： | G01D3/036 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 266590 山東省青*** | 國省代碼： | 山東;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 具有 橢圓形 微流道 壓電 薄膜 諧振 傳感器 | ||
【權利要求書】：
1.一種具有半橢圓形微流道的壓電薄膜諧振傳感器，包括基片（101）、聲反射層（102）、壓電堆棧（103）以及設置在壓電堆棧（103）上方的微流道（104），其特征在于，所述的微流道（104）的截面為半橢圓形，其橢圓水平軸中心為壓電堆棧（103）的中心點。
2.根據權利要求1所述的一種具有半橢圓形微流道的壓電薄膜諧振傳感器，其特征在于，所述的微流道（104）的水平軸長度（105）為壓電堆棧（103）的長度（106）的3倍至5倍。
3.根據權利要求1所述的一種具有半橢圓形微流道的壓電薄膜諧振傳感器，其特征在于，所述的微流道（104）的內部最高點至壓電堆棧（103）的距離（107）為壓電堆棧（103）中駐波諧振波長一半的整數倍，其倍數為40至100之間。
4.根據權利要求1所述的一種具有半橢圓形微流道的壓電薄膜諧振傳感器，其特征在于，所述的微流道（104）的外側壁高度（108）為微流道（104）的內部最高點至壓電堆棧（103）的距離（107）的5至10倍。
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