[實用新型]一種高效激發剪切波諧振的薄膜體聲波諧振器

有效

• 申請號: 201320201749.3
• 申請日: 2013-04-19
• 公開（公告）號: CN203241384U
• 公開（公告）日: 2013-10-16
• 發明（設計）人: 王璟璟;陳達;孫學軍;金熒熒;干耀國
• 申請（專利權）人: 山東科技大學
• 主分類號: G01N29/02
• 分類號: G01N29/02
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種高效激發剪切波諧振的薄膜體聲波諧振器，包括基片（101）、聲反射層（102）、壓電層（103）以及輸入電極對（104）和輸出電極對（105），其特征在于，所述的輸入電極對（104）由設置在壓電層（103）上下兩表面的兩個相同形狀且相互連通的輸入上電極（106）和輸入下電極（107）組成，輸出電極對（105）由設置在壓電層（103）上下兩表面的兩個相同形狀且相互連通的輸出上電極（108）和輸出下電極（109）組成。

2.根據權利要求1所述的一種高效激發剪切波諧振的薄膜體聲波諧振器，其特征在于，輸入下電極（107）的橫向長度（110）與壓電層（103）厚度的比例以及輸出下電極（109）的橫向長度（111）與壓電層（103）厚度的比例都介于50至150之間。

3.根據權利要求1所述的一種高效激發剪切波諧振的薄膜體聲波諧振器，其特征在于，輸入下電極（107）的橫向長度（110）與橫向電極間隔距離（112）的比例以及輸出下電極（109）的橫向長度（111）與橫向電極間隔距離（112）的比例都介于20至100之間。

4.根據權利要求1所述的一種高效激發剪切波諧振的薄膜體聲波諧振器，其特征在于，輸入下電極（107）距壓電層外側邊界的距離（113）以及輸出下電極（109）距壓電層外側邊界的距離（114）都大于壓電層（103）厚度的10倍。

5.根據權利要求1所述的一種高效激發剪切波諧振的薄膜體聲波諧振器，其特征在于，輸入電極對（104）和輸出電極對（105）中上下兩電極之間設置有通孔（115），其截面積小于輸入下電極（107）和輸出下電極（109）面積的十分之一，其中心距電極側邊的距離（116）為壓電層（103）厚度的10倍至50倍。