[實用新型]OLED器件密封結構

有效

• 申請號: 201320199779.5
• 申請日: 2013-04-19
• 公開（公告）號: CN203165953U
• 公開（公告）日: 2013-08-28
• 發明（設計）人: 李牧詞;金景一;季華夏
• 申請（專利權）人: 云南北方奧雷德光電科技股份有限公司
• 主分類號: H01L51/52
• 分類號: H01L51/52;H01L51/54
• 代理公司: 昆明祥和知識產權代理有限公司 53114
• 代理人: 和琳

技術領域

本實用新型涉及有機發光技術領域，尤其是OLED器件的密封結構。

背景技術

OLED器件包括在硅片基底上形成的多個功能疊層，來自陰極的電子與來自陽極的空穴分別通過各自的傳導層在有機發光層進行復合從而發輻射發光，工業上進行密封的目的正是要隔絕水氧等雜質對這些功能疊層的污染。

OLED器件的密封工藝決定了顯示器的顯示功能和壽命。制作OLED器件發光層的多數有機物對于大氣中的氧氣、水氣以及其他污染物都十分敏感：氧氣以及發光層氧化后形成的羰基化合物是有效的淬滅劑，會顯著降低OLED器件的發光量子效率，甚至導致顯示器喪失發光功能；水汽使有機層發生水解并且影響導電性能，從而導致穩定性大大降低。另外，由于用于OLED器件陰極材料的金屬多為化學活性非常活潑的材料，極易在空氣或其他含有氧氣的環境中受到侵蝕，特別是在含有水氣的環境中更容易發生化學腐蝕，都有損OLED器件的使用壽命。

現有的OLED器件多采用無機氧化物膜和高分子有機膜結合的密封結構，無機氧化物膜使用原子層沉積技術，高分子有機膜則采用真空涂覆。這種封裝方式存在應力匹配與釋放的問題，而應力的釋放會導致密封膜層破裂，使氧氣和水氣滲透進來，從而影響到OLED期間的壽命。

發明內容

為了克服現有OLED器件密封結構采用無機氧化物膜和高分子有機膜結合的方式所存在應力匹配與釋放的問題，提供一種密封性能更佳的OLED器件密封結構。

本實用新型的OLED器件密封結構，覆蓋在OLED器件上，其特征在于由三層膜結構組成，從OLED器件基底往外依次為金屬氧化物膜、非金屬氮化物膜和高分子有機膜。

金屬氧化物膜的使用主要目的是針對有機功能層的密封，隔絕對其傷害較大的水氧雜質；非金屬氮化物膜可以提高復合膜層的致密性，降低金屬氧化物膜的應力釋放，降低氧氣和水氣的滲透；高分子有機膜的低氣體滲透性，具有無可比擬的屏障效果。

作為上述實用新型的優選方案，所述的金屬氧化物膜采用Al₂O₃。在OLED器件表面覆蓋高密度非晶態Al₂O₃薄膜能對水氧雜質的隔絕效果極佳。

作為上述實用新型的優選方案，所述的非金屬氮化物膜采用SiN。SiN可以提高復合膜層的致密性，降低金屬氧化物密封薄膜的應力釋放，降低氧氣和水氣的滲透，采用無機氮化物獲得的薄膜，可以得到均勻一致,透光性佳且極薄的膜層。

作為上述實用新型的優選方案，所述的高分子有機膜采用二甲苯的聚合物。二甲苯的聚合物，即派瑞林，可以抗酸堿腐蝕可以抗溶解，在普通的溶劑中不會被溶解；由于高分子薄膜的低氣體滲透性，具有無可比擬的屏障效果；同時抗凍性能強，低至200℃，采用派瑞林（Parylene）進行涂層,可得到均勻一致,透明且極薄的膜層；能涂敷到各種形狀的表面,包括尖銳的棱邊、裂縫，可靠性強，具有極高的絕緣強度，經濟清潔、工序簡單、速度快、批量處理能力強通過這兩道密封將會明顯降低器件退化衰變的速率、提高有機發光顯示器的壽命。

本實用新型的OLED器件密封結構，克服了原有結構鍍膜與基底結合力較弱的問題，可以通過鍍膜工藝參數的控制，使薄膜具有零應力，大大改善了三層密封薄膜間的應力匹配與釋放的問題。

附圖說明

圖1為本實用新型的OLED器件密封結構示意圖。

其中，基底1，金屬氧化物膜2，非金屬氮化物膜3，高分子有機膜4。?

具體實施方式

實施例1：本實用新型的OLED器件密封結構，覆蓋在OLED器件上，其特征在于由三層膜結構組成，從OLED器件基底1往外依次為金屬氧化物膜2、非金屬氮化物膜3和高分子有機膜4。其中，金屬氧化物膜2采用Al₂O₃，非金屬氮化物膜3采用SiN，高分子有機膜4采用二甲苯的聚合物。

本實用新型的OLED器件密封結構采用下述工藝制備：

1、在高真空（5×10^-4Pa）低溫（130℃）下，采用原子沉淀（ALD）技術在有機發光器件的表面形成高密度非晶態Al₂O₃薄膜。基于表面化學反應的ALD技術可以使薄膜的不完整性降至最小。采用ALD技術完成Al₂O₃薄膜的制作，ALD技術是利用一個二元反應（這個反應被分成兩個自我約束的化學反應）在惰性反應氣體的沖刷下按照反復交替的順序進行沉積，使原子層在發光頂端排列緊密，形成連接且緊貼器件的薄膜。