[實用新型]一種用于真空鍍膜設備陰極靶材更換的翻轉機構

有效

• 申請號: 201320199021.1
• 申請日: 2013-04-19
• 公開（公告）號: CN203247302U
• 公開（公告）日: 2013-10-23
• 發明（設計）人: 薛輝;昌江
• 申請（專利權）人: 蕪湖真空科技有限公司
• 主分類號: C23C14/00
• 分類號: C23C14/00
• 代理公司: 蕪湖安匯知識產權代理有限公司 34107
• 代理人: 馬榮

技術領域

本實用新型涉及真空鍍膜設備領域，尤其是涉及一種用于真空鍍膜設備陰極靶材更換的翻轉機構。

背景技術

現有技術中，陰極靶材更換機構主要是以鉸鏈式機構為主，此種方式的不足之處是：由于是鉸鏈式機構，所以打開陰極與真空室腔體時候，陰極與腔體處于平行狀態，此種狀態對于靶材更換很不方便，特別是陰極高度很高時候，操作人員還需要借助于梯子進行靶材的更換，給更換工作帶來很大的不便，降低工作效率。

實用新型內容

本實用新型所要解決的技術問題是針對現有技術中存在的問題提供一種用于真空鍍膜設備陰極靶材更換的翻轉機構，其目的是能夠實現在較小的空間范圍內，可以準確的實現陰極的翻轉以及復原動作。

本實用新型的技術方案是該種用于真空鍍膜設備陰極靶材更換的翻轉機構，所述的真空鍍膜設備包括真空室腔體，位于真空室腔體上的門，以及陰極，所述的門和陰極通過轉動軸連接，且所述的陰極繞轉動軸相對于門做旋轉運動，其特征在于：所述的翻轉機構包括安裝在門上的傳動軸以及驅動傳動軸轉動的驅動電機，所述的陰極上設有第一基座，第一基座上安裝有固定桿，且所述的傳動軸通過皮帶和固定桿連接傳動。

所述的傳動軸的兩端分別設有帶盤，且固定桿的兩端設有與帶盤位置相對應的固定帶盤，所述的皮帶共有兩根，分別安裝在每一端的帶盤和固定帶盤上。

所述的傳動軸的兩端分別通過第二基座、第三基座安裝在門上，且傳動軸的其中一端通過軸承座安裝在第二基座上。

所述的驅動電機安裝在第三基座上。

具有上述結構的該種用于真空鍍膜設備陰極靶材更換的翻轉機構通過傳動軸上兩端所安裝的帶盤來控制皮帶的收放，即控制陰極的翻轉動作，結構簡單合理，安裝操作方便，在一定的空間范圍內可以準確的實現翻轉及復原動作，與現有的陰極翻轉機構相比，解決了其操作不便，耗時比較久的問題，提高了生產效率。

附圖說明

下面結合附圖對本實用新型作進一步說明：

圖1為本實用新型的結構示意圖。

圖2為本實用新型的工作狀態下的結構示意圖。

在圖1-2中，1：真空室腔體；2：門；3：陰極；4：驅動電機；5：皮帶；6：帶盤；7：固定帶盤；8：傳動軸；9：軸承座；10：固定桿；11：第一基座；12：轉動軸；13：第二基座；14：第三基座。

具體實施方式

圖1和圖2為本實用新型的結構示意圖和工作狀態下的結構示意圖。由圖1和圖2所示結構結合可知，該種用于真空鍍膜設備陰極靶材更換的翻轉機構，所述的真空鍍膜設備包括真空室腔體1，位于真空室腔體1上的門2，以及陰極3，門2和陰極3通過轉動軸12連接，且陰極3繞轉動軸12相對于門2做旋轉運動，翻轉機構包括安裝在門2上的傳動軸8以及驅動傳動軸8轉動的驅動電機4，陰極3上設有第一基座11，第一基座11上安裝有固定桿10，且傳動軸8通過皮帶5和固定桿10連接傳動。

傳動軸8的兩端分別設有帶盤6，且固定桿10的兩端設有與帶盤6位置相對應的固定帶盤7，皮帶5共有兩根，分別安裝在每一端的帶盤6和固定帶盤7上；傳動軸8的兩端分別通過第二基座13、第三基座14安裝在門2上，且傳動軸8的其中一端通過軸承座9安裝在第二基座13上，驅動電機4安裝在第三基座14上。

當需要換靶的時候，?操作者首先卸下陰極3與門2之間的剛性連接件，然后給予驅動電機4一個信號，驅動電機4得到信號之后將帶動傳動軸8進行反向運動，即將皮帶5通過帶盤6釋放，此時，陰極3以轉動軸12為軸心開始平穩的下降，當降至設定的位置時候，驅動電機4得到信號停止工作。該機構完成了將陰極放下的動作。

當換靶完畢，需要將陰極3與門2相連接的時候，操作者給予驅動電機4一個信號，驅動電機4得到信號之后將帶動傳動軸8進行正向運動，即將皮帶5通過帶盤6將其收起，當陰極3與門2關閉時，驅動電機4得到信號停止工作，操作者將陰極3與門2通過原有的剛性連接件重新連接。該機構完成了將陰極關閉的動作。

綜上，該帶式翻靶機構完成了一整套動作。

該種用于真空鍍膜設備陰極靶材更換的翻轉機構通過傳動軸上兩端所安裝的帶盤來控制皮帶的收放，即控制陰極的翻轉動作，結構簡單合理，安裝操作方便，在一定的空間范圍內可以準確的實現翻轉及復原動作，與現有的陰極翻轉機構相比，解決了其操作不便，耗時比較久的問題，提高了生產效率。