[實用新型]研磨機靜壓下磨盤部件

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201320198782.5
• 申請日: 2013-04-19
• 公開（公告）號: CN203197726U
• 公開（公告）日: 2013-09-18
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 李見光;李勇輝
• 申請（專利權(quán)）人: 湖南軍創(chuàng)科夢數(shù)控機床有限公司
• 主分類號: B24B37/16
• 分類號: B24B37/16
• 代理公司: 岳陽市大正專利事務(wù)所 43103
• 代理人: 龔正初

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及一種研磨機靜壓下磨盤部件。

背景技術(shù)

研磨機是一種廣泛用于IC、IT等行業(yè)研磨碳化硅、藍寶石、壓電晶體、壓電陶瓷等片狀零件的設(shè)備。

下磨盤部件是該設(shè)備的核心部件。常見下磨盤結(jié)構(gòu)原理如圖3所示，主要由軸承座1、驅(qū)動軸2、支承塊③、平面滾動軸承④、下磨盤5等組成。下磨盤5與驅(qū)動軸2連為一體；平面滾動軸承④安裝于支承塊③上，與軸承座1相連為一體；下磨盤5工作時，工件7裝置于下磨盤5上面，上磨盤6施壓于工件7上面，當(dāng)動力驅(qū)動下磨盤5旋轉(zhuǎn)時，使下磨盤5、工件7、上磨盤6之間產(chǎn)生相對運動，研磨工件7的上下兩平面。調(diào)整上磨盤6壓力，獲得不同的研磨效率與精度。

顯然，平面滾動軸承④所組成的支承單元其精度、性能決定研磨工件的精度和加工效率，然而平面滾動軸承以及支承塊③、軸承座1的加工與裝配精度實際上難于達到理想要求。所以在工作時，當(dāng)上磨盤6給以施載或超過一定載荷時，平面滾動軸承④易產(chǎn)生幾何和彈性變形，嚴(yán)重影響加工精度和效率，甚至造成工件破損。

發(fā)明內(nèi)容

本實用新型的目的在于提供一種能替代平面滾動軸承的靜壓下磨盤部件，以改其弊端。

本實用新型的技術(shù)方案是：一種研磨機靜壓下磨盤部件，包括軸承座、驅(qū)動軸、下磨盤，其特征在于：在軸承座與下磨盤之間設(shè)置靜壓塊和配油環(huán)；在靜壓塊上設(shè)置至少3個油腔；靜壓塊與配油環(huán)相匹配設(shè)置有與油腔數(shù)量相等的節(jié)流間隙，其節(jié)流間隙與進油管道和油腔相通。

本實用新型所述的靜壓塊上設(shè)置有6個油腔。

本實用新型所述的靜壓塊油腔的油由供油站提供并經(jīng)靜壓塊與配油環(huán)之間設(shè)置的節(jié)流間隙進入。

本實用新型的關(guān)鍵在于由靜壓塊和配油環(huán)組成的靜壓支承單元取代現(xiàn)有技術(shù)中的由支承塊與平面滾動軸承組成的支承單元。由供油站供給的壓力油，經(jīng)配油環(huán)與靜壓塊匹配設(shè)置的節(jié)流間隙分別進入靜壓塊上的各油腔，形成具有很大剛度的壓力油膜將下磨盤托起，并承受工作時上磨盤所施加的載荷，經(jīng)生產(chǎn)驗證，大大提高了下磨盤的運動精度和研磨精度，具有如下優(yōu)點：

1、承載能力大，研磨效率高：常見下磨盤部件的承載能力僅500KG左右，該靜壓下磨盤部件承載能力可達3000KG以上，從而提高了研磨效率。

2、精度高、吸振性能好：壓力油膜可均化制造誤差，不但使下磨盤運動精度可提高到微米級，油膜還有很好的吸振性，運動平穩(wěn)可靠。

3、使用壽命長：油膜支承，沒有金屬接觸，處純液體摩擦，理論上有無限壽命。

附圖說明

圖1為本實用新型示意圖；

圖2為本實用新型油腔布局示意圖；

圖3為常見的雙面研磨機下磨盤部件。

圖中：1、軸承座；2、驅(qū)動軸；3、靜壓塊；③、支承塊；4、配油環(huán)；④、平面滾動軸承；5、下磨盤；6、上磨盤；7、工件；8、油腔；9、供油站；10、節(jié)流間隙。

具體實施方式

如圖1所示，本實用新型的靜壓下磨盤部件包括軸承座1、驅(qū)動軸2、靜壓塊3、配油環(huán)4、下磨盤5；在軸承座1和下磨盤5之間設(shè)置靜壓塊3和配油環(huán)4；靜壓塊上設(shè)置有油腔，本實施例為6個油腔（如圖2所示）；靜壓塊3與配油環(huán)4相匹配設(shè)置與油腔數(shù)量相同的6個節(jié)流間隙。每個節(jié)流間隙與所對應(yīng)的油腔的油路相通。工作時，由供油站提供的壓力油經(jīng)節(jié)流間隙進入靜壓塊上的各個油腔，使下磨盤5與靜壓塊3之間形成油膜，將下磨盤托起，并承受上磨盤所施加的載荷，實現(xiàn)了下磨盤5的靜壓支承。