[實用新型]一種石墨加熱器用加工裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201320193793.4
• 申請日: 2013-04-17
• 公開（公告）號: CN203210540U
• 公開（公告）日: 2013-09-25
• 發(fā)明（設計）人: 郭運德;李帥;郭清源;劉中英;高曉棠
• 申請（專利權(quán)）人: 洛陽晶奧電子材料有限公司
• 主分類號: B28D7/04
• 分類號: B28D7/04
• 代理公司: 洛陽公信知識產(chǎn)權(quán)事務所(普通合伙) 41120
• 代理人: 張彬

技術(shù)領域

本實用新型涉及一種硅晶體生產(chǎn)設備用加工裝置，尤其是一種石墨加熱器用加工裝置。

背景技術(shù)

在硅晶體的生產(chǎn)制備過程中，經(jīng)常采用石墨加熱器為制備過程提供所需要的熱量。石墨加熱器由一系列片狀結(jié)構(gòu)組成，在每一片石磨上又需要加工出一道溝槽，傳統(tǒng)的加工方法，是在加熱器上需要加工溝槽的位置劃線來進行加工定位，這種方法速度慢、耗時長，造成生產(chǎn)效率低下，生產(chǎn)成本高。

實用新型內(nèi)容

為了解決上述技術(shù)問題，本實用新型提供一種結(jié)構(gòu)簡單、操作方便的石墨加熱器用加工裝置。

本實用新型為解決上述問題所采用的技術(shù)方案是：一種石墨加熱器用加工裝置，包括壓板、雙頭螺栓和固定底座，其特征在于：還包括旋轉(zhuǎn)平臺、附件圓盤，附件圓盤上設置有中心孔，所述中心孔的直徑與旋轉(zhuǎn)平臺的外徑相配合用連接件連接，在附件圓盤的中心孔的同心圓周上設有與石墨加熱器上需要加工的溝槽相對應的定位孔，旋轉(zhuǎn)平臺與固定底座通過軸承連接，在固定底座上設置有4個固定開口槽，雙頭螺栓的一端與旋轉(zhuǎn)平臺相連接，另一端與壓板相連接。

在所述的旋轉(zhuǎn)平臺上設置有與石墨加熱器的內(nèi)徑相配合的凸臺９。

所述的同心圓周為3個，同心圓周上的定位孔的個數(shù)有由內(nèi)到外依次為32個、28個、24個。

在固定底座與旋轉(zhuǎn)平臺之間，軸承Ⅰ的上部裝有油封蓋。

在旋轉(zhuǎn)平臺的下端設置有鎖緊螺母。

有益效果：使用本實用新型對石墨加熱器進行溝槽加工時，只需對本實用新型進行旋轉(zhuǎn)，讓附加圓盤上的定位孔與臥式銑床工作臺上的定位孔相對應，插入定位銷固定，即可對要加工的溝槽位置進行定位，而不需要再事先對加熱器進行劃線，大大提高了生產(chǎn)效率，降低了生產(chǎn)成本。

附圖說明

圖1為本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2為圖1的仰視圖。

圖3為石墨加熱器結(jié)構(gòu)示意圖。

圖4為圖3的俯視圖。

圖中1、壓板，2、雙頭螺栓，3、旋轉(zhuǎn)平臺，4、附件圓盤，401、定位孔????????????????????????????????????????????????，402、定位孔，403、定位孔，5、油封蓋，6、固定底座，601、固定開口槽，7、鎖緊螺母，8軸承，9、凸臺。

具體實施方式

下面結(jié)合附圖和具體實施方式對本實用新型作進一步具體詳細的說明。

如圖1所示，一種石墨加熱器用加工裝置，包括壓板1、雙頭螺栓2和固定底座6，還包括旋轉(zhuǎn)平臺3、附件圓盤4，附件圓盤4上設置有中心孔，所述中心孔的直徑與旋轉(zhuǎn)平臺3的外徑相配合用螺栓連接，在附件圓盤4的與中心孔的同心圓周上設有與石墨加熱器上需要加工的溝槽數(shù)目相對應的定位孔，所述的同心圓周為3個，同心圓周上的定位孔的個數(shù)由內(nèi)到外依次為定位孔（401）32個、定位孔（402）28個、定位孔（403）24個，分別對應于32片結(jié)構(gòu)32道溝槽、28片結(jié)構(gòu)28道溝槽和24片結(jié)構(gòu)24道溝槽的石墨加熱器的使用；旋轉(zhuǎn)平臺3與固定底座6通過軸承Ⅰ8連接，在固定底座6上設置有4個固定開口槽601，如圖2所示，固定開口槽601的作用是將本實用新型與臥式銑床的工作臺固定連接；雙頭螺栓2的一端與旋轉(zhuǎn)平臺3相連接，另一端與壓板1相連接。壓板1的作用是對被加工件加熱器進行壓緊固定。在所述的旋轉(zhuǎn)平臺3上設有與石墨加熱器的內(nèi)徑相配合的凸臺９，本實施例，所述凸臺９為4個，沿圓周均布，用以對石墨加熱器進行快速定位。在固定底座６與旋轉(zhuǎn)平臺３之間，軸承?8的上部裝有油封蓋５，在旋轉(zhuǎn)平臺３的下端設置有鎖緊螺母７。

在臥式銑床上使用本實用新型對如圖3、圖4所示的石墨加熱器進行溝槽加工時，只需對本實用新型進行旋轉(zhuǎn)，讓附加圓盤4上的定位孔與臥式銑床工作臺上的定位孔相對應，插入定位銷固定，即可對要加工的溝槽位置進行定位，而不需要再事先對加熱器進行劃線定位。