[實用新型]一種傳感型真空度測量裝置

有效

• 申請號: 201320192300.5
• 申請日: 2013-04-17
• 公開（公告）號: CN203323956U
• 公開（公告）日: 2013-12-04
• 發明（設計）人: 姚琪旼
• 申請（專利權）人: 上海祖發實業有限公司
• 主分類號: G01L21/12
• 分類號: G01L21/12
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本實用新型屬于精密測量技術領域，具體涉及一種傳感型真空度測量裝置。?

背景技術

目前常規的真空測量裝置存在著很多缺陷，比如采用電阻規皮拉尼、熱偶，所一致產生的問題就是測量范圍小，一般都在1000P~1P或是20P~1*10P^-1，而且在測量過程中容易受到污染，同時受到環境溫度影響也較大，溫度范圍大都限制在10℃~40℃，并且在10℃~40℃范圍內溫度對測量精度的影響也是很大的。?

發明內容

本實用新型的目的在于克服上述現有技術的不足，提供一種工藝簡單、靈敏度高、抗污性能好、真空測量范圍廣的傳感型真空度測量裝置。?

一種傳感型真空度測量裝置，包括殼體，所述殼體的兩軸向端面上分別設有真空連接口及儀表連接座；所述殼體內設有真空室，該真空室中安裝有半導體敏感元件，所述半導體敏感元件與儀表連接座呈橋路電路連接。?

所述真空室外設有恒溫裝置。?

本實用新型利用半導體敏感元件在不同的真空度條件下的散熱變化，得出相應的橋路電阻變化，由此測量出精確的真空度，不僅電荷傳輸過程中有非常高的靈敏度，而且工藝簡單、抗污染性能好，并且恒溫裝置的設置更加能夠保證其在測量時的精度不會受到影響。?

附圖說明

圖1為本實用新型的結構示意圖。?

具體實施方式

以下結合具體實施例，對本實用新型做進一步說明。應理解，以下實施例僅用于說明本實用新型而非用于限制本實用新型的范圍。?

實施例1?

參見圖1，本實用新型提供的一種傳感型真空度測量裝置，包括殼體1，所述殼體1的兩軸向端面上分別設有真空連接口2及儀表連接座3，所述殼體1內設有真空室4，該真空室4中安裝有半導體敏感元件5，所述半導體敏感元件5的一端穿過高真空密封座6電連接電路板7上，所述電路板7與儀表連接座3電連接，所述半導體敏感元件5與儀表連接座3的電連接方式為橋路連接。?

實施例2?

????[0012]本實施例與實施例1的不同之處在于，所述真空室4外設有恒溫裝置8，用于保證工作時真空室4溫度恒定在50℃±0.5℃。

實施例3?

運行原理：半導體敏感元件5橋路通電加熱后，升至100~180℃，在精確的電壓及恒定的溫度下，橋路會產生精度很高的電壓，在不同的真空度條件下，半導體敏感元件5的散熱發生了變化，相應的橋路電阻發生了變化，其變化值就是真空度，由于半導體敏感元件5受溫面積極小，在0.2~1m/m間，所以在電荷傳輸過程中有非常高的靈敏度。?