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[實用新型]四氟乙烯硅棒腐蝕裝置有效

專利信息
申請?zhí)枺?/td> 201320191697.6 申請日: 2013-04-03
公開(公告)號: CN203203860U 公開(公告)日: 2013-09-18
發(fā)明(設(shè)計)人: 魏文昌;穆玥;胡俊輝;翁博豐;鄧麗;程遠梅;尹敏 申請(專利權(quán))人: 陜西天宏硅材料有限責(zé)任公司
主分類號: G01N1/32 分類號: G01N1/32
代理公司: 暫無信息 代理人: 暫無信息
地址: 712000 陜西*** 國省代碼: 陜西;61
權(quán)利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關(guān)鍵詞: 乙烯 腐蝕 裝置
【權(quán)利要求書】:

1.一種四氟乙烯硅棒腐蝕裝置,它包括:二個腐蝕槽(1)和一個樣棒籃(2)組成,其特征在于:腐蝕槽(1)為長方體結(jié)構(gòu),底面和四個側(cè)面密封,上面敞開;樣棒籃(2)長方體結(jié)構(gòu),底面和三個側(cè)面密封,上面和一個側(cè)面敞開,樣棒籃(2)的底面全部為孔板,孔密度10000個/m2,樣棒籃(2)的三個側(cè)面從底部到高度2mm位置為孔板,上方為實板。

2.如權(quán)利要求1所述的四氟乙烯硅棒腐蝕裝置,其特征在于:樣棒籃(2)的實板為四氟乙烯材質(zhì),孔板為四氟乙烯材質(zhì)。

3.如權(quán)利要求1所述的四氟乙烯硅棒腐蝕裝置,其特征在于:樣棒籃(2)上設(shè)計提手,提手為半圓棒,提手安裝在側(cè)面實板位置,提手高度6cm。

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說明:

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