[實用新型]一種激光掃描熱波層析成像裝置有效
| 申請號: | 201320189779.7 | 申請日: | 2013-04-16 |
| 公開(公告)號: | CN203203927U | 公開(公告)日: | 2013-09-18 |
| 發明(設計)人: | 陳力 | 申請(專利權)人: | 南京諾威爾光電系統有限公司 |
| 主分類號: | G01N21/71 | 分類號: | G01N21/71;G01J5/00 |
| 代理公司: | 暫無信息 | 代理人: | 暫無信息 |
| 地址: | 210038 江蘇省南京*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 激光 掃描 層析 成像 裝置 | ||
1.一種紅外熱波層析成像無損檢測系統,包括:
紅外熱像儀(22),所述紅外熱像儀(22)用于采集被測物體(28)表面的熱波圖像;
高功率激光器(21),所述高功率激光器(21)用于對被測物體(28)表面激勵熱波;
光束整形裝置(26),所述光束整形裝置(26)用于使激光束(27)在被測物體(28)表面形成所需光斑形狀;
光束偏轉裝置(25),所述光束偏轉裝置(25)用于偏轉激光束(27)對被測物體(28)表面進行逐行掃描;
數據處理單元(20),所述數據處理單元(20)用于對所述紅外熱像儀(22)采集的熱波圖像進行處理分析;
其特征是:所述紅外熱波層析成像無損檢測系統進一步包括掃描控制單元(24),所述掃描控制單元(24)控制所述光束偏轉裝置(25)與紅外熱像儀(22)保持相同行頻,但幀頻之間保持一個延遲量。
2.根據權利要求1所述的紅外熱波層析成像無損檢測系統,其特征是:所述延遲量在每隔至少一幀之間,遞增或遞減一個增量。
3.根據權利要求1所述的紅外熱波層析成像無損檢測系統,其特征是:所述光束整形裝置(26)使激光束(27)在被測物體(28)表面形成至少一個聚焦光點,所述光束偏轉裝置(25)進行二維掃描。
4.根據權利要求1所述的紅外熱波層析成像無損檢測系統,其特征是:所述光束整形裝置(26)使激光束(27)在被測物體(28)表面形成至少一條線形光斑,所述光束偏轉裝置(25)進行一維掃描。
5.根據權利要求1所述的紅外熱波層析成像無損檢測系統,其特征是:進一步包括光學濾波片(23),用于去除到達紅外熱像儀(22)的激光束(27)的散射光及其它干擾光。
6.根據權利要求1所述的紅外熱波層析成像無損檢測系統,其特征是:(27)波長敏感的攝像機(32),用于記錄被測物體(28)的表面光學特征及熱激勵光束(27)的光學特征。
7.根據權利要求1所述的紅外熱波層析成像無損檢測系統,其特征是:所述紅外熱像儀(22)的檢測波長范圍在1-15微米之間。
8.根據權利要求1所述的紅外熱波層析成像無損檢測系統,其特征是:所述高功率激光器(21)為連續或準連續輸出。
9.根據權利要求1所述的紅外熱波層析成像無損檢測系統,其特征是:所述光束偏轉裝置(25)為機械振鏡。?
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