[實(shí)用新型]一種切割研磨廢水處理裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201320179113.3
• 申請(qǐng)日: 2013-04-11
• 公開（公告）號(hào): CN203159357U
• 公開（公告）日: 2013-08-28
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 葉滿水
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 廈門中湛再生資源科技有限公司
• 主分類號(hào): C02F9/02
• 分類號(hào): C02F9/02;C02F11/12
• 代理公司: 福建煉海律師事務(wù)所 35215
• 代理人: 許育輝;張輝

技術(shù)領(lǐng)域

????本實(shí)用新型涉及水處理領(lǐng)域，特別涉及一種切割研磨廢水處理裝置。?

背景技術(shù)

在電子制程相關(guān)產(chǎn)業(yè)，例如IC封裝產(chǎn)業(yè)的制程，包括晶圓切割（Wafer?Saw）及晶圓研磨（Wafer?Back?Grinding）這些制程，均會(huì)使用超純水洗凈，因此產(chǎn)生了大量的切割研磨廢水。?

在這些電子相關(guān)產(chǎn)業(yè)中，晶片切割研磨廢水因?yàn)楹袠O細(xì)微的粉末顆粒，在處理上并不容易，同時(shí)廢水處理費(fèi)也相當(dāng)驚人，回收率也不高。目前，也有文獻(xiàn)報(bào)道采用超濾膜分離技術(shù)處理切割研磨廢水，但是上述工藝中采用的膜分離過濾為中空纖維膜分離或卷式膜分離，上述兩種膜分離都普遍存在著濃差極化和膜污染現(xiàn)象，進(jìn)而影響過濾速度和過濾效果，并且具有清洗困難，通量難以恢復(fù)等缺點(diǎn)。?

圓型平板膜組件作為新一代的膜分離過濾組件，與卷式膜和中空纖維膜相比，具有下述優(yōu)點(diǎn)：膜片互鎖構(gòu)造，膜片不泄漏；膜片間隙大，不會(huì)堵塞，容易清洗；圓型構(gòu)造，可手動(dòng)或自動(dòng)旋轉(zhuǎn)；不需要前處理；可以正沖及反洗；可正壓操作或負(fù)壓操作；可采用UF、NF或RO膜；可以直立或橫臥操作。總之，圓型平板膜組件克服了傳統(tǒng)卷式過濾膜及中空纖維膜，容易堵塞損壞的缺點(diǎn)，使用膜過濾的操作成本大幅的降低。?

發(fā)明內(nèi)容

針對(duì)上述問題，本實(shí)用新型的目的在于基于圓型平板膜分離技術(shù)，提供一種過濾效果好、成本低、不易堵塞、易于清洗的切割研磨廢水處理裝置。?

為達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型所提出的技術(shù)方案為：一種切割研磨廢水處理裝置，其特征在于：包括調(diào)節(jié)池、圓型平板膜分離裝置、反滲透膜分離裝置、污泥濃縮裝置、污泥脫水裝置，所述的圓型平板膜分離裝置包括一產(chǎn)水口和一污泥排放口，所述的調(diào)節(jié)池、圓型平板膜分離裝置依次連接，所述的反滲透膜分離裝置與圓型平板膜分離裝置產(chǎn)水口相連，所述的污泥濃縮裝置、污泥脫水裝置依次與圓型平板膜分離裝置的濃水排放口相連。?

進(jìn)一步，所述的反滲透膜分離裝置的濃縮液出口通過回流管道與圓型平板膜分離裝置相連。?

進(jìn)一步，所述的圓型平板膜分離裝置的過濾孔徑為0.03um。?

采用上述技術(shù)方案，本實(shí)用新型所述的切割研磨廢水處理裝置，用于切割研磨廢水處理所具有的優(yōu)點(diǎn)為：運(yùn)行成本低、處理效果佳、污泥少、占地面積小、處理工藝短、膜性能優(yōu)異等。?

附圖說明

圖1為本實(shí)用新型所述的切割研磨廢水處理裝置結(jié)構(gòu)示意圖。?

其中：101.調(diào)節(jié)池、102.圓型平板膜分離裝置、103.反滲透膜分離裝置、104.產(chǎn)水罐、105.污泥濃縮裝置、106.污泥脫水裝置、107.回流管道。?

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施方式，對(duì)本實(shí)用新型做進(jìn)一步說明。?

如圖1所示，一種切割研磨廢水處理裝置，包括調(diào)節(jié)池101、圓型平板膜分離裝置102、反滲透膜分離裝置103、污泥濃縮裝置105、污泥脫水裝置106，所述的圓型平板膜分離裝置102包括一產(chǎn)水口和一污泥排放口，所述的調(diào)節(jié)池101、圓型平板膜分離裝置102依次連接，反滲透膜分離裝置103與圓型平板膜分離裝置102產(chǎn)水口相連，所述的污泥濃縮裝置105、污泥脫水裝置106依次與圓型平板膜分離裝置102的濃水排放口相連，反滲透膜分離裝置103的濃縮液出口通過回流管道107與圓型平板膜分離裝置102相連。?

優(yōu)選的，所述的圓型平板膜分離裝置的過濾孔徑為0.03um。?

具體使用時(shí)，切割研磨廢水在調(diào)節(jié)池101收集后，進(jìn)入圓型平板膜分離裝置102處理，圓型平板膜分離裝置102產(chǎn)水進(jìn)入反滲透膜分離裝置103進(jìn)一步處理，反滲透膜分離裝置103透析水進(jìn)入產(chǎn)水罐104中進(jìn)行回用，反滲透濃水經(jīng)回流管道107回流至圓型平板膜分離裝置102循環(huán)處理，此外圓型平板膜分離裝置102中產(chǎn)生的污泥進(jìn)入污泥濃縮裝置105進(jìn)一步濃縮后經(jīng)污泥脫水裝置106脫水后外運(yùn)。?

本實(shí)用新型所述的切割研磨廢水處理裝置，所具有的優(yōu)點(diǎn)為：?

1)??運(yùn)行成本低

無需加任何藥品，也無需沉淀，可直接膜過濾；每噸水節(jié)約藥品費(fèi)1-5元；

無二次污染，不需二次污染治理費(fèi)用（如LED切割液中的砷，原本是顆粒狀，但因中空纖維膜的堵塞后采用酸堿藥洗，生產(chǎn)溶解性砷，每噸廢水的處理費(fèi)用需要幾十元）；

無砂濾/碳濾/中空纖維膜過濾，也無需錯(cuò)流過濾，每噸廢水可節(jié)約1-2元；

圓型平板膜分離裝置過濾后的水回收率≥99%；

圓型平板膜分離裝置過濾電耗≤0.1kWh/m³，噸水過濾成本約為0.1元；