[實用新型]一種等離子體刻蝕機的傳片系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201320177870.7
• 申請日: 2013-04-10
• 公開（公告）號: CN203205376U
• 公開（公告）日: 2013-09-18
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 張欽亮;平志韓;蘇靜洪;王謨;賈偉
• 申請（專利權(quán)）人: 天通吉成機器技術(shù)有限公司
• 主分類號: H01J37/18
• 分類號: H01J37/18;H01J37/20
• 代理公司: 浙江杭州金通專利事務(wù)所有限公司 33100
• 代理人: 趙芳;徐關(guān)壽

1.一種等離子體刻蝕機的傳片系統(tǒng)，由裝載裝置和機械手裝置組成；其特征在于：裝載裝置包括裝載腔體和腔蓋，裝載腔體與腔蓋之間設(shè)有密封圈，裝載腔體一側(cè)設(shè)有取送片口，取送片口處設(shè)有插板閥；裝載腔體連接真空機械泵和外界氣源；機械手裝置包括機械手和機械手的容納腔，容納腔通過插板閥與裝載腔體連通，機械手經(jīng)取送片口進入裝載腔體內(nèi)；裝載腔體內(nèi)部設(shè)有托持片盤的托盤架，托盤架具有多個托持片盤的托持位，每個托持位均設(shè)有允許片盤離開的缺口，托盤架固定于底架上，底架與升降旋轉(zhuǎn)裝置連接；升降旋轉(zhuǎn)裝置包括帶動托盤架抬起或下落的升降工作部，和帶動托盤架旋轉(zhuǎn)以轉(zhuǎn)換托持位的旋轉(zhuǎn)工作部，升降工作部包括插入裝載腔體內(nèi)的導(dǎo)向桿，升降電機和連接導(dǎo)向桿與升降電機的升降傳動機構(gòu)；旋轉(zhuǎn)工作部包括旋轉(zhuǎn)電機和連接導(dǎo)向桿與旋轉(zhuǎn)電機的旋轉(zhuǎn)傳動機構(gòu)；導(dǎo)向桿與腔體之間間隙密封。

2.如權(quán)利要求1所述的等離子體刻蝕機的傳片系統(tǒng)，其特征在于：機械手包括托取片盤的手指，與驅(qū)動元件連接的主動臂和連接手指與主動臂的連接臂，連接臂一端與主動臂鉸接，另一端與手指鉸接，驅(qū)動元件帶動主動臂做旋轉(zhuǎn)運動。

3.如權(quán)利要求1或2所述的等離子體刻蝕機的傳片系統(tǒng)，其特征在于：升降傳動機構(gòu)包括與升降電機的輸出軸連接的減速機，與導(dǎo)向桿連接的絲杠和連接絲杠與減速機的聯(lián)軸器，導(dǎo)向桿內(nèi)開設(shè)有與絲杠嚙合的螺孔，絲杠旋轉(zhuǎn)時導(dǎo)向桿僅上下運動；

旋轉(zhuǎn)傳動機構(gòu)包括固定于導(dǎo)向桿上的蝸輪和與旋轉(zhuǎn)電機的輸出軸連接的蝸桿，蝸輪蝸桿嚙合傳動，旋轉(zhuǎn)電機為步進電機，旋轉(zhuǎn)電機步進一次托盤架旋轉(zhuǎn)一個托持位；導(dǎo)向桿上固定有托持旋轉(zhuǎn)工作部的托架。

4.如權(quán)利要求3所述的等離子體刻蝕機的傳片系統(tǒng)，其特征在于：導(dǎo)向桿套設(shè)于真空波紋管內(nèi)，真空波紋管兩端的法蘭接頭分別固定于導(dǎo)向桿上，真空波紋管外套有保護套；真空波紋管底部與背緊螺母連接，背緊螺母的另一端與減速機外殼通過螺紋連接。

5.如權(quán)利要求4所述的等離子體刻蝕機的傳片系統(tǒng)，其特征在于：真空波紋管和裝載腔體之間固定有套筒，蝸輪和蝸桿（83）均位于套筒內(nèi)，旋轉(zhuǎn)電機固定于套筒上。

6.如權(quán)利要求5所述的等離子體刻蝕機的傳片系統(tǒng)，其特征在于：每個托持位均設(shè)有臺階槽，片盤放置于臺階槽上。

7.如權(quán)利要求6所述的等離子體刻蝕機的傳片系統(tǒng)，其特征在于：腔蓋上設(shè)有裝載觀察窗；機械手腔設(shè)有蓋子，蓋子上設(shè)有機械手觀察窗。