[實用新型]一種晶體生長爐測溫總成

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201320173741.0
• 申請日: 2013-04-08
• 公開（公告）號: CN203200382U
• 公開（公告）日: 2013-09-18
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 徐永亮;吳智洪;劉自強
• 申請（專利權(quán)）人: 浙江昀豐新能源科技有限公司
• 主分類號: C30B35/00
• 分類號: C30B35/00
• 代理公司: 北京集佳知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11227
• 代理人: 魏曉波

1.一種晶體生長爐測溫總成，包括晶體生長爐本體和紅外測溫儀（11），所述晶體生長爐本體包括水冷腔體（2）、設(shè)置于所述水冷腔體（2）底部用于支撐坩堝（4）的坩堝軸（13）、設(shè)置于所述水冷腔體（2）內(nèi)部的加熱器（3）、側(cè)面保溫屏（1）、底部保溫屏（5）和頂部保溫屏（12），其特征在于，所述坩堝軸（13）為空心軸，所述水冷腔體（2）底部與所述坩堝軸（13）的空心處對應(yīng)位置設(shè)置有第一測溫視窗，所述水冷腔體（2）的側(cè)面還設(shè)置有多個位于不同高度且可與坩堝（4）側(cè)面相對的第二測溫視窗，且所述側(cè)面保溫屏（1）和所述加熱器（3）上與所述第二測溫視窗相同高度處均設(shè)置有透光孔；

所述紅外測溫儀（11）通過調(diào)整支架設(shè)置于所述第一測溫視窗和所述第二測溫視窗處。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶體生長爐測溫總成，其特征在于，所述第一測溫視窗和所述第二測溫視窗的具體結(jié)構(gòu)包括：

開設(shè)于所述水冷腔體壁上的通孔，所述通孔的邊緣設(shè)置有向所述水冷腔體（2）外側(cè)凸起的玻璃安裝座（6）；

設(shè)置于所述水冷腔體（2）外側(cè)，且覆蓋在所述玻璃安裝座（6）上的透明玻璃（10），所述透明玻璃（10）與所述玻璃安裝座（6）之間設(shè)置有密封件（7）；

與所述玻璃安裝座（6）可拆裝連接且用于將所述透明玻璃（10）壓緊于所述玻璃安裝座（6）上的固定法蘭（8），所述固定法蘭（8）與所述透明玻璃（10）之間設(shè)置有墊片（9）。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的晶體生長爐測溫總成，其特征在于，所述透明玻璃（10）為石英玻璃。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的晶體生長爐測溫總成，其特征在于，所述密封件（7）為O型密封圈，所述墊片（9）為特氟龍墊片。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶體生長爐測溫總成，其特征在于，所述第一測溫視窗和所述第二測溫視窗均為圓形測溫視窗。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶體生長爐測溫總成，其特征在于，所述第二測溫視窗包括兩個，且兩個所述測溫視窗分別設(shè)置于靠近坩堝（4）內(nèi)液體的液面位置處和靠近于坩堝（4）的底部位置處。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的晶體生長爐測溫總成，其特征在于，兩個所述第二測溫視窗在豎直方向上相互錯開。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶體生長爐測溫總成，其特征在于，還包括設(shè)置于所述水冷腔體頂部的第三測溫視窗，且所述頂部保溫屏（12）與所述第三測溫視窗對應(yīng)的位置設(shè)置有透光孔，所述水冷腔體（2）的外部與所述第三測溫視窗對應(yīng)位置設(shè)置有紅外測溫儀（11）。