[實用新型]一種裸芯粒二極管測試機用防滴墨打點器裝置

有效

• 申請號: 201320172422.8
• 申請日: 2013-04-09
• 公開（公告）號: CN203172163U
• 公開（公告）日: 2013-09-04
• 發明（設計）人: 李臣友;楊剛;劉烽;于國輝;楊鋒
• 申請（專利權）人: 秦皇島視聽機械研究所
• 主分類號: B41J2/01
• 分類號: B41J2/01;B41J2/175
• 代理公司: 秦皇島市維信專利事務所 13102
• 代理人: 戴輝

技術領域

本實用新型用于半導體裝備制造行業，應用在裸芯粒二極管芯片分選測試機上，具體說是一種裸芯粒二極管測試機用防滴墨打點器裝置。并對測試完成后的裸芯粒二極管芯粒進行標注。

背景技術

分選測試機對裸芯粒二極管芯片測試后，根據測試要求，對不滿足測試要求的裸芯粒或有分類要求的裸芯粒進行墨點標記，測試結束后再根據標注墨點標記的芯片分類存放，因此二極管測試分選機用的打點器是必不可少的裝置。

目前所公開的二極管分選測試機上使用的打點器，主要包括支撐架，該支撐架由上至下分別裝有電磁鐵、墨水盒和導引座，及與電磁鐵輸出端連接的引墨線依次穿過墨水盒和導引座，還包括在墨水盒一側連接一與發生器連接的真空導管。使用時，電磁鐵開始動作，帶動引墨線沿著導引座內壁上下運動，完成打點動作。在實際應用中，由于墨水盒很小，又是采用開放式的墨水盒，使之墨水極易揮發和凝固，需要不斷地補充墨水。另外，上述裝置不能根據需要標記的芯粒大小調整墨滴的大小，不同規格要求的芯粒需要定制相應的引墨線和導引座。此外，在使用中容易出現滴墨，一旦墨水滴到上晶圓表面，需要立刻停機，停止測試，將整張晶圓取下并清洗，清洗之后再重新測試，這也就要求工人不停地觀察并擦拭預滴落的墨水，不僅增大了操作強度及打點工序，同時也降低了工作效率。

發明內容

鑒于上述現狀，本實用新型提供了一種裸芯粒二極管測試機用防滴墨打點器裝置。替代了現有的開放式墨水盒的方式，而導致的因墨水揮發需不斷補充墨水，及停機時由墨水的凝固造成堵塞導引座所帶來的拆卸墨水盒、清理，從根本上解決了在打點過程中出現滴墨現象，大大的降低了測試過程中重復地加墨水和擦拭滴墨的問題。

本實用新型的技術方案是：一種裸芯粒二極管測試機用防滴墨打點器裝置，包括支撐架，及其上端連接的托塊，在托塊及支撐架下端分別裝有電磁鐵、墨水盒和導引座，及與電磁鐵輸出端連接的引墨線依次穿過墨水盒和導引座，在墨水盒一側連接一與發生器連接的真空導管；其中在所述增大體積后的墨水盒上裝有密封蓋，及在墨水盒內部設置帶有中心孔的隔套，通過隔套與密封蓋之間的墨水盒形成了一個空腔，該墨水盒的空腔部位與外接真空發生器的真空導管連接，在所述真空導管上設有節流閥。這樣，不僅防止了揮發和凝固，也避免了墨水盒中的墨水在重力作用下，沿引墨線滴落。同時還可根據要求調節墨滴量的大小。

在本新型中，其中支撐架為L型，側壁帶有V型槽。

在本新型中，所述的導引座為T型。

在本新型中，所述的隔套是一個凸形筒。

本新型所指的墨水盒為尼龍材料。

本實用新型具有的積極效果是：通過改進開放式墨水盒結構，可以解決現有因墨水揮發造成的不斷加墨水，停機時墨水極易凝固堵塞導引座，需要拆卸墨水盒進行清理，從根本上解決了在打點過程中出現滴墨現象，大大的降低了測試過程中重復地加墨水和擦拭滴墨，同時通過調節節流閥，可以增大或減小對不同芯粒標注的墨滴體積。本新型不僅適用于裸芯粒二極管芯粒的打點標注，還可以用于集成電路、三極管、可控硅及敏感元件分選測試后的打點標注，本新型也是測試分選設備必不可少的裝置。

附圖說明

圖1是本新型的示意圖；

圖2是圖1的局部剖視圖。

具體實施方式

下面結合附圖實施例對本實用新型作進一步描述。

見圖1、圖2所示的一種裸芯粒二極管測試機用防滴墨打點器裝置，包括安裝座14，及與安裝座14連接的支撐架3，通過鎖緊紐15固定連接。在所述的支撐架3上端裝有電磁鐵安裝架11，該電磁鐵安裝架11上通過螺紋連接電磁鐵12，在本實施例的支撐架3下端裝有墨水盒4，在所述墨水盒4一側帶有注墨孔及其上設有加墨蓋5，通過注墨孔加墨后，利用加墨蓋5進行封閉。在墨水盒4的上下端分別設有密封蓋6和導引座2。通過導引座2上的螺紋與支撐架3連接。本實施例中，在墨水盒4內的上部空間裝有帶有中心孔的隔套16，使隔套16與密封蓋6之間的墨水盒4內部形成一個空腔，用于解決滴墨問題。本實施例的引墨線1的一端與托快13和壓板10連接后通過螺釘9固定，利用托快13與電磁鐵12輸出端連接；引墨線1的另一端分別穿過密封蓋6、墨水盒4、隔套16和導引座2，并引出導引座2。本實施例所述的密封蓋6上連接一真空導管8，該真空導管8與外接的真空發生器（未示意）連接，在所述的真空導管8上設有節流閥7，來控制調節滴墨量的大小。

本實施例中，支撐架3整體為L型狀，支撐架3其中一側壁帶有V型槽。通過支撐架3一側的V型槽與安裝座14活動安裝，由其配合部位設置的鎖緊紐15進行調節和定位。