[實用新型]傳感器電路

有效

• 申請號: 201320171616.6
• 申請日: 2013-04-08
• 公開（公告）號: CN203275442U
• 公開（公告）日: 2013-11-06
• 發明（設計）人: 喬納森·亞當·克萊克斯;約恩·奧普里斯;賈斯廷·森
• 申請（專利權）人: 快捷半導體（蘇州）有限公司;快捷半導體公司
• 主分類號: G01P15/14
• 分類號: G01P15/14
• 代理公司: 北京派特恩知識產權代理事務所(普通合伙) 11270
• 代理人: 武晨燕;張穎玲

1.一種傳感器電路，包括：?

微機電系統MEMS傳感器，包括第一電容元件和第二電容元件；以及IC，包括：?

開關網絡電路，配置成將所述MEMS傳感器的所述第一電容元件與所述IC的第一輸入端電解耦，并且將所述第二電容元件電耦合到所述IC的第二輸入端；以及?

電容測量電路，配置成在向被解耦的第一電容元件施加第一電信號期間測量所述MEMS傳感器的所述第二電容元件的電容。?

2.如權利要求1所述的傳感器電路，?

其中，所述開關網絡配置成將所述MEMS傳感器的所述第二電容元件與所述IC電解耦，并且將所述第一電容元件電耦合到所述IC；并且?

其中，所述電容測量電路配置成在向被解耦的第二電容元件施加第二電信號期間測量所述MEMS傳感器的所述第一電容元件的電容。?

3.如權利要求1所述的傳感器電路，包括測試電路，該測試電路配置成：?

向所述被解耦的第一電容元件施加第一方波信號；?

向所述第一電容元件和所述第二電容元件共用的外部電路節點施加第二方波信號，其中所述第二方波信號的相位與所述第一方波信號的相位相反，并且?

其中所述電容測量電路配置成在施加所述第一方波信號和所述第二方波信號期間測量所述第二電容元件的電容。?

4.如權利要求1所述的傳感器電路，包括測試電路，該測試電路配置成：?

向所述被解耦的第一電容元件施加第一方波信號；以及?

向由所述第一電容元件和所述第二電容元件共用的外部節點施加第二方波信號，?

其中所述第二方波信號與所述第一方波信號同相，并且?

其中所述電容測量電路配置成在施加所述第一方波信號和所述第二方波信?號期間測量所述電容。?

5.如權利要求1所述的傳感器電路，其中，所述電容測量電路包括差分輸入模數轉換器ADC電路，該ADC電路配置成產生代表所述第二電容元件的電容的數字值。?

6.如權利要求5所述的傳感器電路，?

其中，所述IC包括自測試電容器對，?

其中，所述開關網絡電路配置成：?

將所述MEMS傳感器的所述第二電容元件電耦合到所述ADC電路的第一輸入端；以及?

將所述自測試電容器對配置為所述IC內部的電容-電壓傳感器，并且將所述自測試電容器對電耦合到所述ADC電路的第二輸入端。?

7.如權利要求5所述的傳感器電路，?

其中，所述IC包括配置成消除所述ADC電路的任何共模偏移的至少一個補償電容器；?

其中，所述開關網絡電路配置成在測量所述第二電容元件期間將所述第二電容元件和所述補償電容器電耦合到所述差分輸入ADC電路的所述第一輸入端。?

8.如權利要求5所述的傳感器電路，其中，所述ADC電路為差分輸入Σ-ΔADC電路。?

9.如權利要求1所述的傳感器電路，?

其中，所述開關網絡電路配置成在測試模式和正常模式下工作，?

其中，在所述測試模式下，所述開關網絡配置成將所述第一電容元件和所述第二電容元件中的至少一個與所述IC電解耦，?

其中，在所述正常模式下，所述開關網絡電路配置成將所述MEMS傳感器的所述第一電容元件和所述第二電容元件耦合為第一電容元件對，并且?

其中，所述第一電容元件對配置成響應于第一方向上的加速度而改變電容。?

10.如權利要求1所述的傳感器電路，其中，所述IC包括電容-電壓傳感?器電路。?

11.如權利要求1所述的傳感器電路，其中，所述MEMS傳感器包括加速計。?