[實用新型]傳感器電路

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201320171504.0
• 申請日: 2013-04-08
• 公開（公告）號: CN203275441U
• 公開（公告）日: 2013-11-06
• 發(fā)明（設計）人: 約恩·奧普里斯;賈斯廷·森
• 申請（專利權）人: 快捷半導體（蘇州）有限公司;快捷半導體公司
• 主分類號: G01P15/14
• 分類號: G01P15/14
• 代理公司: 北京派特恩知識產(chǎn)權代理事務所(普通合伙) 11270
• 代理人: 武晨燕;張穎玲

1.一種傳感器電路，包括：?

微機電系統(tǒng)MEMS陀螺儀傳感器，包括第一傳感電容器和第二傳感電容器；以及?

集成電路IC，包括：?

開關電路，配置成將所述第一傳感電容器與所述IC的第一輸入端電解耦，并且將所述第二傳感電容器電耦合到所述IC的第二輸入端；以及?

電容測量電路，配置成在第一電信號施加到該被解耦的第一傳感電容器期間測量所述MEMS陀螺儀傳感器的所述第二傳感電容器的電容。?

2.如權利要求1所述的傳感器電路，其中，所述第一傳感電容器和所述第二傳感電容器配置成感測所述MEMS陀螺儀傳感器在正常工作模式下的科里奧利效應。?

3.如權利要求2所述的傳感器電路，其中，所述開關電路配置成將所述MEMS陀螺儀傳感器的所述第二傳感電容器與所述IC的所述第二輸入端電解耦，并且將所述MEMS陀螺儀傳感器的所述第一傳感電容器電耦合到所述IC的所述第一輸入端；并且?

其中，所述電容測量電路配置成在第二電信號施加到該被解耦的第二傳感電容器期間測量所述MEMS陀螺儀傳感器的所述第一傳感電容器的電容。?

4.如權利要求1所述的傳感器電路，其中，施加第一電信號包括：?

向所述第一傳感電容器施加第一正弦電信號，其中該第一正弦電信號具有第一相移；?

在施加具有所述第一相移的所述第一正弦信號期間測量所述第二傳感電容器的電容；?

將所述第一正弦電信號的相移改變?yōu)榈诙嘁疲灰约?

在施加具有所述第二相移的所述第一正弦信號期間重新測量所述第二傳感電容器的電容。?

5.如權利要求1所述的傳感器電路，其中，所述IC包括：?

電容-電壓傳感器電路，配置成感測代表所述第二傳感電容器的電容的電壓；?

模數(shù)轉換器ADC電路，配置成產(chǎn)生代表所述第二傳感電容器的電容的數(shù)字值。?

6.如權利要求1所述的傳感器電路，其中，所述IC包括：?

電容器-電壓傳感器，配置成將所述MEMS陀螺儀傳感器的振蕩電容轉換成振蕩電壓信號，并且?

其中，所述開關電路配置成施加所述振蕩電壓信號作為所述第一電信號。?

7.如權利要求6所述的傳感器電路，?

其中，所述IC包括配置成對所述振蕩電壓信號進行移相的相移電路；并且?

其中，所述開關電路配置成施加該移相后的振蕩電壓信號作為所述第一電信號。?

8.如權利要求1所述的傳感器電路，包括測試電路，該測試電路配置成在所述第一電信號被施加期間將直流DC電壓施加到所述MEMS陀螺儀傳感器的檢測質(zhì)量塊。?

9.如權利要求1所述的傳感器電路，其中，所述第一傳感電容器和所述第二傳感電容器配置成感測沿所述MEMS陀螺儀傳感器的第一軸的科里奧利效應，并且?

其中，所述電容測量電路配置成測量至少一個額外傳感電容器的電容，所述至少一個額外傳感電容器配置成感測沿所述MEMS陀螺儀傳感器的第二軸的科里奧利效應。?

10.如權利要求1所述的傳感器電路，其中，所述MEMS陀螺儀傳感器包括可移動檢測質(zhì)量塊，?

其中，所述第一傳感電容器和所述第二傳感電容器配置成當所述IC在正常工作模式下工作時感測該檢測質(zhì)量塊的科里奧利效應，?

其中，所述第一電信號施加到所述被解耦的第一傳感電容器配置成在測試?模式下使該檢測質(zhì)量塊移動，并且?

其中，所述IC配置成在所述測試模式下所述檢測質(zhì)量塊移動期間，測量所述第二傳感電容器的電容。?