[實用新型]異質復合研磨定位環

有效

• 申請號: 201320165400.9
• 申請日: 2013-04-03
• 公開（公告）號: CN203266389U
• 公開（公告）日: 2013-11-06
• 發明（設計）人: 陳宏奇
• 申請（專利權）人: 孫建忠
• 主分類號: B24B37/32
• 分類號: B24B37/32
• 代理公司: 北京申翔知識產權代理有限公司 11214
• 代理人: 黃超;周春發

技術領域

本實用新型關于一種研磨定位環，尤指一種用于晶圓定位研磨作業的異質復合研磨定位環。

背景技術

按，一般晶圓研磨作業使用的研磨定位環的結構，以往以一體成形的材質所制成，后有考慮基部環體與研磨環體各有其功能，因此有發展出異質(相異材質)作為復合層的構造，如中國臺灣新型專利第M347978號“研磨定位環的改良結構”所呈現的構造，一基部，其采由不銹鋼或是金屬合金所制成，并呈一環形態樣，該基部的第一側面為一鎖固面，鎖固面上設置有定位孔；基部的第二側面為一結合面，結合面上設置有接合孔，該接合孔可用以接設鎖固接合元件。一研磨部，其采由高分子塑性材料所制成，并呈一環形態樣，該研磨部的第一側面為一結合面，結合面上設置有導入孔；研磨部的第二側面則為一研磨面。

藉由金屬的基部環體與一高分子材質的研磨環體相互結合所構成，分別呈現出不同的效果。然而該先前技術所呈現出的“異質”以基材為通常硬度較高的不銹鋼或是金屬合金，然而研磨部，則采用相對硬度較低的高分子塑性材料。

該案重點雖表現于因應研磨定位環于研磨加工過程中，會與晶圓及加工機件之間產生持續性劇烈的摩擦作用，其所產生的反向應力，則會對研磨定位環的基部環體與研磨環體的結合結構，產生破壞性作用，一旦基部環體與研磨環體之間產生松動或脫開剝離的現象時，亦即等同該研磨定位環報廢，而需另作更換。因此重點強調在二者的結合結構的牢固性，但是該案所呈現出的層級構造，是以硬度較低者作為研磨材料，從而材料的損耗較為嚴重，且該案以硬度較高者作為基材，因此其韌性與應變性亦相對低，因此仍有改進的空間。

雖然，亦有業者采用塑料(例如PPS)為一基部與一研磨部為一體成型，雖可以不使用金屬而降低生產成本，但由于是一體，因此當研磨部被磨損而消耗時，基部縱使沒有磨損消耗，但也必須隨同該研磨部一體更換，但由于該塑料(PPS)費用不貲，亦屬浪費與不經濟。

實用新型內容

本實用新型所解決的技術問題在于提供一種異質復合研磨定位環，包括一上環與一下環，兩者依序疊合并為結合，該上環與下環均以塑化材質所制，二者兼具的復合層效果。

本實用新型所采用的技術手段如下所述。

一種異質復合研磨定位環，包括一上環與一下環，兩者依序疊合并為結合，該上環與下環均以塑化材質所制。

該下環的硬度高于該上環。

該上環與該下環之間，更襯設一墊環，以令形成多層式。

墊環的硬度介于該上環與該下環之間。

該下環選自于聚苯硫醚(polyphenylene?sulfide，PPS)、聚丁烯對苯二甲酸酯(polybutylene?terephthalate，PBT)、碳充聚醚醚酮(carbin－filled?PEEK)、聚醚酰亞胺(polyetherimide，PEI)、聚醚醚酮(polyether?ether?ketone，PEEK)、聚乙烯對苯二甲酸酯(polyethylene?terephthalate，PET)、聚四氟乙烯(polytetrafluoroethylene，PTFE)、聚苯并咪唑?(polybenzimidazole，PBI)、聚胺－酰亞胺(polyamide－imide，PAI)、聚乙烯對酞酸脂(PETP)、聚氯乙烯(PVC)、尼龍(NYLON)、聚縮醛(POM)、ABS、鐵弗龍(PTFE)、聚氟化亞乙烯PVDF之一或任何二種以上復合。

本實用新型所產生的有益效果如下所述。

由于本實用新型采用塑化材料，均以塑化材質所制以節省成本較高的金屬或塑化材料。

且本實用新型分為一上環(基部)與一下環(研磨部)，因此當下環(研磨部)被磨損而消耗時，上環(基部)無須隨同該下環(研磨部)一體更換，因此可以節省該塑化材料的費用，而達到經濟效果。且必須說明的是，本案并非單純以材質的改變所達成的預期功效，而以相較于先前技術的反向布列的空間型態，配合材質所達成的效果。

附圖說明

圖1本實用新型第一實施例的立體組合圖。

圖2本實用新型第一實施例的立體分解圖。

圖3A本實用新型第一實施例的分解狀態的剖視圖。

圖3B本實用新型第一實施例的組合狀態的剖視圖。

圖4本實用新型第二實施例的立體分解圖。

圖5本實用新型第二實施例組合狀態的剖視圖。

圖6本實用新型第二實施例的立體圖。

圖號說明：

1異質復合研磨定位環

11上環

12下環

13墊環

1A有設置溝槽的異質復合研磨定位環。

具體實施方式