[實用新型]直線電動機電樞和直線電動機有效

申請號：	201320162323.1	申請日：	2013-04-03
公開（公告）號：	CN203166726U	公開（公告）日：	2013-08-28
發明（設計）人：	渡邊和也	申請（專利權）人：	株式會社安川電機
主分類號：	H02K41/03	分類號：	H02K41/03;H02K9/00
代理公司：	北京三友知識產權代理有限公司 11127	代理人：	黨曉林;王小東
地址：	日本***	國省代碼：	日本;JP
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摘要：
搜索關鍵詞：	直線電動機電樞
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【說明書】：

技術領域

本實用新型涉及直線電動機電樞和直線電動機。

背景技術

以往，半導體制造裝置或機床等的工作臺進給采用了直線電動機。在直線電動機的電樞中，提出有這樣的電樞：利用包殼覆蓋電樞線圈，在電樞線圈與包殼之間設置制冷劑流路而使制冷劑在該流路內通過，對電樞線圈進行冷卻（例如，參見專利文獻1）。此外，還提出有在冷卻套內部設置有制冷劑流路的直線電動機電樞（例如，參見專利文獻2）。

現有技術文獻

專利文獻1：國際公開第2005/112233號

專利文獻2：國際公開第2008/152876號

實用新型內容

當在冷卻套內部設置有多個制冷劑流路的情況下，在該制冷劑流路與制冷劑流路之間配置有將彼此隔開的間隔壁。這樣，有時來自電樞線圈的熱傳導在制冷劑流路部分和間隔壁部分變得不均一。

本實用新型正是鑒于上述情況而完成的，其示例性的課題在于，提供能夠對配置在冷卻套附近的發熱體進行冷卻并減低冷卻套表面的溫度不均一的直線電動機電樞和直線電動機。

為了解決上述課題，作為本實用新型的示例性的側面的直線電動機電樞是具有沿著動子的移動方向配置的發熱體、和配置在發熱體的表面附近的冷卻套的直線電動機電樞。冷卻套的內部具有多個制冷劑流路，所述多個制冷劑流路由內側套、外側套、以及將內側套和外側套連接起來的間隔壁劃定而成，所述內側套位于離發熱體近的一側，所述外側套位于離發熱體遠的一側。在內側套和外側套中的至少任一方的內部以與間隔壁對置的方式配置有傳熱減低部，所述傳熱減低部用于減低來自發熱體的熱傳導。

也可以在內側套的與制冷劑流路對置的內部位置和外側套的與制冷劑流路對置的內部位置均不配置傳熱減低部。

傳熱減低部也可以是空隙。

傳熱減低部也可以配置在內側套和外側套中的至少任一方的厚度方向的大致中央。

作為本實用新型的另一示例性的側面的直線電動機電樞是具有沿著動子的移動方向配置的發熱體、和配置在發熱體的表面附近的冷卻套的直線電動機電樞。冷卻套的內部具有多個制冷劑流路，所述多個制冷劑流路由內側套、外側套、以及將內側套和外側套連接起來的間隔壁劃定而成，所述內側套位于離發熱體近的一側，所述外側套位于離發熱體遠的一側。內側套和外側套中的至少任一方是從離發熱體近的一側起依次層疊內側層、中央層和外側層至少三層而構成的。內側層和外側層由纖維強化樹脂、陶瓷或不銹鋼形成，中央層通過將以制冷劑流路的延長方向為長度方向的長條狀的纖維強化樹脂、陶瓷或不銹鋼的部件、和長條狀的傳熱減低部沿著與長度方向正交的方向交替配置而形成。傳熱減低部與間隔壁對置地配置從而減低來自發熱體的熱傳導。

作為本實用新型的又一示例性的側面的直線電動機具備：上述的直線電動機電樞；和磁場系統，所述磁場系統隔著磁空隙而與直線電動機電樞對置地配置，并且該磁場系統交替地依次配置有彼此極性不同的多個永磁鐵，并且，以直線電動機電樞和磁場系統中的任一方作為定子，以另一方作為動子，使直線電動機電樞和磁場系統相對地運動。

通過參照以下附圖而說明的優選的實施方式來明確本實用新型的進一步的目的或其它特征。

實用新型效果

根據本實用新型，能夠對配置在冷卻套附近的發熱體進行冷卻并減少冷卻套表面的溫度不均一。

附圖說明

圖1是本實用新型的實施方式的直線電動機的立體圖。

圖2是關于圖1所示的直線電動機電樞而從箭頭Z方向觀察圖1中的Z-Z線的截面時的示意性的立體圖。

圖3是圖2所示的冷卻套的一部分的分解立體圖。

圖4是示出了圖2所示的直線電動機電樞的IV-IV’線的截面的一部分的圖。

圖5是圖2至圖4所示的內側套的一部分的分解立體圖。

圖6是示出了包括不具有傳熱減低部的冷卻套的直線電動機電樞的截面的一部分的圖。

圖7是示出了包括具有傳熱減低部的冷卻套的直線電動機電樞的截面的一部分的圖。

圖8是示出了制冷劑流路膨脹的狀態的直線電動機電樞的截面的一部分的圖。