[實用新型]一種用于藍寶石領域的CMP拋光液外部循環系統

有效

• 申請號: 201320162035.6
• 申請日: 2013-04-02
• 公開（公告）號: CN203197750U
• 公開（公告）日: 2013-09-18
• 發明（設計）人: 易小順;方建雄;李呼相;吳魯;隆仁偉
• 申請（專利權）人: 蘇州海鉑晶體有限公司
• 主分類號: B24B57/00
• 分類號: B24B57/00
• 代理公司: 南京蘇高專利商標事務所(普通合伙) 32204
• 代理人: 李鳳嬌

技術領域

本實用新型涉及一種藍寶石晶體生產工具，尤其是一種用于藍寶石領域的CMP拋光液外部循環系統。

背景技術

化學機械拋光（CMP）包括磨料的機械拋光與拋光液的化學作用。現有的生產系統中，藍寶石晶片在CMP加工工程中容易產生劃傷，影響劃傷的因素包括：結晶物劃傷、鉆石顆粒劃傷及上下盤轉速設置不當。

當CMP設備長時間不運行，由于拋光液長時間處于不流動狀態，拋光液中懸浮的磨料顆粒容易聚集，產生結晶物，這不但縮短了拋光液的使用壽命，而且容易在藍寶石晶片表面產生嚴重劃痕。

因此，如何減少晶片劃傷率與延長拋光液使用壽命成為了一個亟需解決的難題。

發明內容

發明目的：針對現有技術的不足，申請人經過長期的實踐探索，設計了一種用于藍寶石領域的CMP拋光液外部循環系統。

技術方案：為了實現上述發明目的，本實用新型所采用的技術方案為：一種用于藍寶石領域的CMP拋光液外部循環系統，包括拋光液管道，所述拋光液管道與拋光液桶連通，在所述拋光液管道上依次設置推進泵A、粗過濾裝置、細過濾裝置及推進泵B。本裝置的關鍵在于將所述推進泵B與三通閥連接，三通閥的端口A與CMP設備連接，三通閥的端口B與拋光液桶連通，三通閥的端口A上設有第一閥門，三通閥的端口B上設有第二閥門。

所述粗過濾裝置的濾芯孔徑為10um-30um，所述細過濾裝置的濾芯孔徑為1um-10um，濾芯材質為濾芯材質為PP/PES/PTFE/尼龍/玻璃纖維的復合材料。

所述拋光液管道采用PU管道或者PVC管道，綜合實際運用和材料成本，申請人選擇使用PVC管道，管道內徑為15mm-40mm，管壁厚度為4mm-8mm。

當CMP設備不運行，可打開第二閥門，將三通閥的端口B利用管道與拋光液桶連通，推進泵A和推進泵B保持工作，實現拋光液的CMP設備外循環。

有益效果：本實用新型與現有技術相比，其有益效果是：

1、本實用新型利用將三通閥將拋光液管道與拋光液桶實現循環連通，實現了拋光液的外部循環，避免了拋光液因CMP設備不運行而結晶的問題；

2、本裝置能夠有效減少拋光液結晶顆粒在藍寶石晶片表面劃傷的現象，不但延長了拋光液的使用壽命，還提高了藍寶石晶片的生產質量；

3、本實用新型降低了拋光液結晶幾率，減少了過濾裝置的濾芯被堵塞的次數，節約了生產成本。

附圖說明

圖1為一種用于藍寶石領域的CMP拋光液外部循環系統的結構示意圖。

具體實施方式

下面通過一個最佳實施例，對本技術方案進行詳細說明，但是本實用新型的保護范圍不局限于所述實施例。

如圖1所示，一種用于藍寶石領域的CMP拋光液外部循環系統，包括拋光液管道1，所述拋光液管道1與拋光液桶連通，所述拋光液管道1上依次設置推進泵A2、粗過濾裝置3、細過濾裝置4及推進泵B5，所述推進泵B5與三通閥6連接，三通閥6的端口A7與CMP設備連接，三通閥6的端口B9與拋光液桶連通，三通閥6的端口A7上設有第一閥門8，三通閥6的端口B9上設有第二閥門10。

所述粗過濾裝置3的濾芯孔徑為10um-30um，所述細過濾裝置4的濾芯孔徑為1um-10um，濾芯材質選擇用PP/PES/PTFE/尼龍/玻璃纖維的復合材料。所述拋光液管道1采用PVC管道，內徑為15mm-40mm，管壁厚度為4mm-8mm。

實際應用時，當CMP設備運行時，關閉第二閥門10，同時打開第一閥門8，推進泵A2和推進泵B5保持運行，拋光液通過管道進入CMP設備進行工作；當CMP設備不運行時，關閉第一閥門8，打開第二閥門10，然后推進泵A2和推進泵B5保持運行，拋光液實現外部循環，不會發生停滯結晶。

以上所述僅是本實用新型的優選實施方式，應當指出：對于本技術領域的普通技術人員來說，在不脫離本實用新型原理的前提下，還可以做出若干改進和潤飾，這些改進和潤飾也應視為本實用新型的保護范圍。