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[實用新型]一種二氧化硅晶片研磨機(jī)有效

專利信息
申請?zhí)枺?/td> 201320150118.3 申請日: 2013-03-28
公開(公告)號: CN203254266U 公開(公告)日: 2013-10-30
發(fā)明(設(shè)計)人: 華前斌 申請(專利權(quán))人: 銅陵邁維電子科技有限公司
主分類號: B24B37/07 分類號: B24B37/07
代理公司: 安徽信拓律師事務(wù)所 34117 代理人: 蘇看
地址: 244000 *** 國省代碼: 安徽;34
權(quán)利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關(guān)鍵詞: 一種 二氧化硅 晶片 研磨機(jī)
【權(quán)利要求書】:

1.一種二氧化硅晶片研磨機(jī),其特征在于:包括底座,底座上設(shè)有工作槽,工作槽內(nèi)設(shè)有主軸,主軸上套有轉(zhuǎn)盤,所述的轉(zhuǎn)盤外圈設(shè)有研磨圈,研磨圈上表面設(shè)有研磨紋,研磨圈上放置有研磨片,研磨片內(nèi)設(shè)有研磨槽,所述的研磨片一端頂在轉(zhuǎn)盤上,另一端頂在研磨圈外圈的擋圈上,所述的工作槽上方設(shè)有由液壓升降機(jī)帶動的封蓋。

2.根據(jù)權(quán)利要求1中所述的一種二氧化硅晶片研磨機(jī),其特征在于:所述的轉(zhuǎn)盤外圈、擋圈內(nèi)圈設(shè)有齒,所述的研磨片為齒輪片,且轉(zhuǎn)盤外圈、擋圈內(nèi)圈上的齒與研磨片上的齒齒形與齒間距相同。

3.根據(jù)權(quán)利要求1中所述的一種二氧化硅晶片研磨機(jī),其特征在于:所述的研磨圈與轉(zhuǎn)盤和擋圈間設(shè)有間隙。

4.根據(jù)權(quán)利要求1中所述的一種二氧化硅晶片研磨機(jī),其特征在于:所述的封蓋內(nèi)側(cè)設(shè)有研磨紋。

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