[實用新型]一種分離機加膜過濾的硅片切割廢砂漿在線回收設備

有效

• 申請號: 201320150057.0
• 申請日: 2013-03-28
• 公開（公告）號: CN203200233U
• 公開（公告）日: 2013-09-18
• 發明（設計）人: 張磊;劉鐵英
• 申請（專利權）人: 張磊;劉鐵英
• 主分類號: C10M175/06
• 分類號: C10M175/06;C10M175/00
• 代理公司: 沈陽晨創科技專利代理有限責任公司 21001
• 代理人: 任玉龍

技術領域

本實用新型涉及機電一體化設備領域，特別涉及了一種分離機加膜過濾的硅片切割廢砂漿在線回收設備。

背景技術

目前，為了保證硅片切割質量，切割工藝中使用的砂漿基本都是極少的重復使用，切割使用后的廢棄砂漿直接作為工業廢棄物堆積處理，或者委托專業處理廠對使用過的砂漿進行處理，無論以上那種方式，都會造成極大浪費，產生較大成本，因此，實現砂漿的回收再利用是硅片生產企業降低生產成本的有效途徑，需要合理的設備，現有設備結構復雜，成本高。

實用新型內容

本實用新型的目的是為了降低硅片切割工藝中砂漿的回收成本，特提供了一種分離機加膜過濾的硅片切割廢砂漿在線回收設備。

本實用新型提供了一種分離機加膜過濾的硅片切割廢砂漿在線回收設備，其特征在于：所述的分離機加膜過濾的硅片切割廢砂漿在線回收設備，包括模塊化單臺分離機1，分離液罐體2，壓濾機3，二次回收液罐4；

其中：模塊化單臺分離機1的出液口通過管道與分離液罐體2的進口連接，分離液罐體2的出口通過管道與壓濾機3的進口連接，壓濾機3的出口通過管道與二次回收液罐4連接。

所述的壓濾機3內部帶有膜過濾裝置。

所述的模塊化單臺分離機1主體結構為臥式螺旋沉降離心機。

模塊化單臺分離機1所分離出來的固態物質與二次回收液罐4中的液體混合，形成再生砂漿，實現回收利用。

本實用新型的優點：

本實用新型所述的分離機加膜過濾的硅片切割廢砂漿在線回收設備，用于分離和回收硅片切割工藝中所產生的廢砂漿，同時亦適用于半導體芯片、水晶、鉆石等行業的廢液回收利用。分離效果好，小顆粒雜質去除率達95%以上。回收效率高，回收液的回收率達90%以上。有效地避免了浪費，降低了企業的生產成本。

附圖說明

下面結合附圖及實施方式對本實用新型作進一步詳細的說明：

圖1為分離機加膜過濾的硅片切割廢砂漿在線回收設備原理結構示意圖。

具體實施方式

實施例1

本實施例提供了一種分離機加膜過濾的硅片切割廢砂漿在線回收設備，其特征在于：所述的分離機加膜過濾的硅片切割廢砂漿在線回收設備，包括模塊化單臺分離機1，分離液罐體2，壓濾機3，二次回收液罐4；

其中：模塊化單臺分離機1的出液口通過管道與分離液罐體2的進口連接，分離液罐體2的出口通過管道與壓濾機3的進口連接，壓濾機3的出口通過管道與二次回收液罐4連接。

所述的壓濾機3內部帶有膜過濾裝置。

所述的模塊化單臺分離機1主體結構為臥式螺旋沉降離心機。

模塊化單臺分離機1所分離出來的固態物質與二次回收液罐4中的液體混合，形成再生砂漿，實現回收利用。

實施例2

本實施例提供了一種分離機加膜過濾的硅片切割廢砂漿在線回收設備，其特征在于：所述的分離機加膜過濾的硅片切割廢砂漿在線回收設備，包括模塊化單臺分離機1，分離液罐體2，壓濾機3，二次回收液罐4；

其中：模塊化單臺分離機1的出液口通過管道與分離液罐體2的進口連接，分離液罐體2的出口通過管道與壓濾機3的進口連接，壓濾機3的出口通過管道與二次回收液罐4連接。

所述的壓濾機3內部帶有膜過濾裝置。

模塊化單臺分離機1所分離出來的固態物質與二次回收液罐4中的液體混合，形成再生砂漿，實現回收利用。