[實用新型]具有實時清洗功能的兩導(dǎo)輪多線切割機

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201320149718.8
• 申請日: 2013-03-29
• 公開（公告）號: CN203092804U
• 公開（公告）日: 2013-07-31
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 劉興翀;張凱;陳博;孟奔;林洪峰;張鳳鳴
• 申請（專利權(quán)）人: 天威新能源控股有限公司
• 主分類號: B28D5/04
• 分類號: B28D5/04;B28D7/02
• 代理公司: 成都行之專利代理事務(wù)所(普通合伙) 51220
• 代理人: 謝敏

本實用新型涉及硅片加工領(lǐng)域，具體是一種具有實時清洗功能的兩導(dǎo)輪多線切割機。

多線切割技術(shù)是目前比較先進的硅片加工技術(shù)，被世界范圍內(nèi)絕大多數(shù)硅片生產(chǎn)廠家所采用。其原理是將一根極細的鋼線相互平行的纏繞在兩個或多個導(dǎo)線輪上形成一個水平的切割線網(wǎng)（鋼線間的距離由導(dǎo)線輪槽距決定），切割時導(dǎo)線輪帶動線網(wǎng)做高速運動，噴砂嘴持續(xù)不斷地向線網(wǎng)噴射含有磨料的研磨漿液（通常為PEG及SiC的混合液），同時工件臺以工藝要求的速度以垂直于線網(wǎng)的方向朝著線網(wǎng)運動，線網(wǎng)將磨料帶入待加工工件區(qū)域?qū)ぜM行磨銷，將硅塊等硬脆材料切割成數(shù)以千計的薄片。

在整個切割過程中，線網(wǎng)的帶砂能力及平整度對硅片的質(zhì)量及成品率起著重要的作用。在實際切割過程中，隨著切割的進行，會產(chǎn)生導(dǎo)向條殘渣，碎硅屑，金屬顆粒等雜質(zhì)，這些雜質(zhì)如果附著在鋼線上將影響鋼線的帶砂能力，鋼線進入硅塊后，由于帶砂不足及雜質(zhì)的影響容易使硅片產(chǎn)生線痕等不良品，同時若雜質(zhì)混同砂漿團聚在硅片表面也不利于硅片表面的清潔；若雜質(zhì)附著在導(dǎo)線輪上，極易引起鋼線的跳線，嚴(yán)重的甚至斷線，影響硅片切割質(zhì)量及成品率。

本實用新型提供了具有實時清洗功能的兩導(dǎo)輪多線切割機，解決了以往的兩導(dǎo)輪多線切割機在進行切割時，鋼線上常常附著雜質(zhì)，影響鋼線的帶砂能力，進而可能導(dǎo)致硅片產(chǎn)生線痕，同時還可能引起鋼線的跳線，嚴(yán)重的甚至斷線，影響硅片切割質(zhì)量及成品率的問題。

本實用新型為解決技術(shù)問題主要通過以下技術(shù)方案實現(xiàn)：具有實時清洗功能的兩導(dǎo)輪多線切割機，包括輸入機構(gòu)、切割機構(gòu)、若干砂漿噴管以及若干第一噴吹管，所述砂漿噴管和第一噴吹管上設(shè)有若干噴孔，所述輸入機構(gòu)位于切割機構(gòu)的上方，所述輸入機構(gòu)包括依次固定連接的工作臺、工件架以及工件板，所述切割機構(gòu)包括兩個導(dǎo)輪和若干鋼線，兩個導(dǎo)輪的中心軸線相互平行，導(dǎo)輪上設(shè)有若干相互平行的線槽，鋼線通過線槽相互平行地纏繞在兩個導(dǎo)輪上，所述砂漿噴管和第一噴吹管位于導(dǎo)輪的上方。工件板用于固定待切割的硅片，工作臺帶動硅片向下運動進行切割；導(dǎo)輪與鋼線組成一個高速運行的切割帶，同時砂漿噴管將研磨漿液噴在鋼線上，當(dāng)硅片進入切割帶后，被高速運行的切割帶切割成數(shù)以千計的薄片；第一噴吹管可采用壓縮空氣噴吹的方式，對鋼線上的殘渣進行噴吹清潔，確保鋼線的帶砂能力。

進一步地，作為優(yōu)選方案，本實用新型還包括收集槽，所述收集槽位于兩個導(dǎo)輪之間，且收集槽位于輸入機構(gòu)的正下方。在切割的過程中，會產(chǎn)生碎硅片等殘渣，用收集槽收集該殘渣后，能夠避免其過多地附著在鋼線上。

進一步地，所述兩個導(dǎo)輪的內(nèi)外側(cè)分別設(shè)有內(nèi)擋板和外擋板。內(nèi)擋板和外擋板能夠阻擋一部分碎屑，防止其飛濺。

更進一步地，所述外擋板與導(dǎo)輪之間設(shè)有至少一根第二噴吹管。第二噴吹管能夠?qū)摼€上的碎硅屑吹掉，減少鋼線上附著的殘渣。

所述第二噴吹管的中心軸線與導(dǎo)輪的中心軸線相互平行。

作為優(yōu)選方案，本實用新型還包括至少一根第三噴吹管，所述第三噴吹管位于兩個導(dǎo)輪之間，且位于導(dǎo)輪的中心軸線以下。第三噴吹管是為了進一步減小鋼線上的殘渣附著，提升鋼線的帶砂能力。

所述第三噴吹管的中心軸線與導(dǎo)輪的中心軸線相互平行。

所述砂漿噴管垂直于鋼線，且砂漿噴管的長度等于或大于導(dǎo)輪的寬度。

所述第一噴吹管與砂漿噴管平行。

所述第一噴吹管與砂漿噴管平行。

本實用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比具有以下優(yōu)點和有益效果：

（1）本實用新型通過設(shè)置第一噴吹管，實時地將鋼線上的碎硅屑等殘渣吹掉，避免殘渣影響鋼線的帶砂能力，進而保證了硅片切割的質(zhì)量，同時通過增設(shè)第二噴吹管、第三噴吹管，進一步提高清潔能力，確保鋼線上的殘渣被徹底吹干凈。

（2）本實用新型通過設(shè)置收集槽，將硅片切割過程中產(chǎn)生的碎屑進行收集，防止碎屑散落或附著在鋼線上，進而減小殘渣對硅片切割的影響。

（3）本實用新型的第一噴水管、第二噴吹管及第三噴吹管還能對鋼線起到一定的冷卻降溫作用，保證切割質(zhì)量。

圖1為本實用新型的實施例1的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本實用新型的實施例2的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3為本實用新型的實施例3的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖4為本實用新型的實施例4的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖5為本實用新型的實施例5的立體圖；

圖6為本實用新型的實施例5的主視圖。

下面結(jié)合實施例對本實用新型作進一步的詳細說明，但本實用新型的實施方式不限于此。

實施例1：