[實(shí)用新型]金屬離子電物理清洗系統(tǒng)有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201320148978.3 | 申請(qǐng)日： | 2013-03-29 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN203256328U | 公開（公告）日： | 2013-10-30 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 朱善元;鄧斌 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 重慶特鈦超膜工貿(mào)有限公司 |
| 主分類號(hào)： | C23C14/02 | 分類號(hào)： | C23C14/02 |
| 代理公司： | 北京天平專利商標(biāo)代理有限公司 11239 | 代理人： | 王永輝 |
| 地址： | 401329 重*** | 國(guó)省代碼： | 重慶;85 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 金屬 離子 物理 清洗 系統(tǒng) | ||
1.一種金屬離子電物理清洗系統(tǒng)，其特征在于，所述系統(tǒng)主要包括真空室、工件夾具、偏壓電源、壓差電阻、電弧電源、導(dǎo)向板裝置和蒸發(fā)源；所述工件夾具、導(dǎo)向板裝置、蒸發(fā)源和引弧板安裝在真空室內(nèi)；所述真空室的室壁接地；所述偏壓電源的正極與壓差電阻的一端電性連接，壓差電阻的另一端與導(dǎo)向板裝置電性連接；偏壓電源的正極接地；偏壓電源的負(fù)極與工件夾具之間電性連接；所述電弧電源的正極與導(dǎo)向板裝置電性連接；所述導(dǎo)向板裝置能根據(jù)清洗工作的需要調(diào)節(jié)其與工件夾具之間的相對(duì)位置和角度。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的金屬離子電物理清洗系統(tǒng)，其特征在于，所述偏壓電源工作時(shí)的輸出電壓為1000V。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的金屬離子電物理清洗系統(tǒng)，其特征在于，所述電弧電源工作時(shí)輸出電壓為50V，流經(jīng)電流為200A。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的金屬離子電物理清洗系統(tǒng)，其特征在于，所述導(dǎo)向板裝置采用0Cr18Ni9Ti材料制成。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的金屬離子電物理清洗系統(tǒng)，其特征在于，所述蒸發(fā)源為坩堝，所述坩堝內(nèi)放置固體鈦金屬，固體鈦金屬在所述坩堝內(nèi)被加熱直到產(chǎn)生自由活動(dòng)的帶正電鈦離子。
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C23C 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面擴(kuò)散法，化學(xué)轉(zhuǎn)化或置換法的金屬材料表面處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆
C23C14-00 通過覆層形成材料的真空蒸發(fā)、濺射或離子注入進(jìn)行鍍覆
C23C14-02 .待鍍材料的預(yù)處理
C23C14-04 .局部表面上的鍍覆，例如使用掩蔽物
C23C14-06 .以鍍層材料為特征的
C23C14-22 .以鍍覆工藝為特征的
C23C14-58 .后處理
