[實用新型]硅片預清洗輔助裝置有效
| 申請號： | 201320144169.5 | 申請日： | 2013-03-27 |
| 公開（公告）號： | CN203140349U | 公開（公告）日： | 2013-08-21 |
| 發明（設計）人： | 劉興翀;陳博;張凱;孟奔;林洪峰;盛雯婷;張鳳鳴 | 申請（專利權）人： | 天威新能源控股有限公司 |
| 主分類號： | B08B3/02 | 分類號： | B08B3/02 |
| 代理公司： | 成都行之專利代理事務所(普通合伙) 51220 | 代理人： | 謝敏 |
| 地址： | 610000 四川省成都*** | 國省代碼： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 硅片 清洗 輔助 裝置 | ||
1.硅片預清洗輔助裝置，包括方形板（1），其特征在于：方形板（1）前端面縱向設置有進水孔（3），且上端面豎直設置有出水孔（2），出水孔（2）與進水孔（3）彼此連通。
2.根據權利要求1所述的硅片預清洗輔助裝置，其特征在于：它還包括設置在方形板（1）左、右兩端的鋼棍通孔（4），鋼棍通孔（4）從方形板（1）前端面縱向貫穿方形板（1），所述鋼棍通孔（4）位于出水孔（2）或進水孔（3）外側。
3.根據權利要求2所述的硅片預清洗輔助裝置，其特征在于：所述鋼棍通孔（4）的直徑為10-14mm。
4.根據權利要求1所述的硅片預清洗輔助裝置，其特征在于：所述方形板（1）為鋁板。
5.根據權利要求1所述的硅片預清洗輔助裝置，其特征在于：所述方形板（1）的寬度為156mm，長度至少為480mm，厚度為30-40mm。
6.根據權利要求1所述的硅片預清洗輔助裝置，其特征在于：所述進水孔（3）共設有四個。
7.根據權利要求6所述的硅片預清洗輔助裝置，其特征在于：所述方形板（1）的長度為520mm，且四個進水孔（3）距離方形板（1）左端面的尺寸依次為70mm、140mm、310mm和380mm。
8.根據權利要求1所述的硅片預清洗輔助裝置，其特征在于：所述出水孔（2）中心位于方形板（1）橫向的中心線上。
9.根據權利要求1或8所述的硅片預清洗輔助裝置，其特征在于：所述出水孔（2）直徑為10-15mm。
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