[實用新型]一種晶體提拉生長監控裝置有效
| 申請號: | 201320143709.8 | 申請日: | 2013-03-27 |
| 公開(公告)號: | CN203174220U | 公開(公告)日: | 2013-09-04 |
| 發明(設計)人: | 劉承勇;陳錦凱;肖鈺斐;陳杰;陳生;俞佳;肖昌東 | 申請(專利權)人: | 福建華科光電有限公司 |
| 主分類號: | C30B15/26 | 分類號: | C30B15/26 |
| 代理公司: | 福州市鼓樓區京華專利事務所(普通合伙) 35212 | 代理人: | 宋連梅 |
| 地址: | 350008 福建省*** | 國省代碼: | 福建;35 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 晶體 生長 監控 裝置 | ||
1.一種晶體提拉生長監控裝置,其特征在于:所述監控裝置包括一提拉爐組、一通信板以及一計算機,所述提拉爐組包括一提拉爐、一提拉爐控制箱、一編碼器以及一攝像機,所述提拉爐與提拉爐控制箱相連,所述攝像機設置在一移動支架上,所述移動支架設置在提拉爐的一觀察窗處,且攝像機的攝像頭對準觀察窗,所述攝像機與編碼器相連,所述提拉爐組通過編碼器與計算機相連,所述提拉爐組的提拉爐控制箱與通信板相連,所述通信板通過一通信線與計算機相連。
2.如權利要求1所述的一種晶體提拉生長監控裝置,其特征在于:所述通信線為485通信線。
3.如權利要求1或2所述的一種晶體提拉生長監控裝置,其特征在于:所述監控裝置還包括一路由器以及至少兩組提拉爐組,各所述提拉爐組的編碼器分別通過所述路由器與計算機相連,且各所述提拉爐組的提拉爐控制箱均連接至通訊板。
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