[實用新型]一種掩膜板清潔裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201320143056.3
• 申請日: 2013-03-27
• 公開（公告）號: CN203170641U
• 公開（公告）日: 2013-09-04
• 發(fā)明（設計）人: 康玉龍;隆清德;彭川
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司;成都京東方光電科技有限公司
• 主分類號: B08B7/04
• 分類號: B08B7/04
• 代理公司: 北京同達信恒知識產(chǎn)權代理有限公司 11291
• 代理人: 黃志華

1.一種掩膜板清潔裝置，其特征在于，包括：

固定掩膜板且使所述掩膜板可豎直放置的翻轉部件；

以及，對豎直放置的掩膜板的表面進行清潔的清潔部件。

2.如權利要求1所述的清潔裝置，其特征在于，所述翻轉部件包括：

至少一對固定所述掩膜板的夾緊部件；

以及，將固定后的所述掩膜板在水平放置與豎直放置之間調(diào)整的旋轉部件。

3.如權利要求1所述的清潔裝置，其特征在于，所述清潔部件包括：

內(nèi)部形成清潔腔的殼體，在所述清潔腔內(nèi)設置有掩膜板放置區(qū)域；

以及位于所述清潔腔內(nèi)且安裝于所述殼體的成對設置的至少一對噴淋部件，每對噴淋部件分別位于掩膜板放置區(qū)域的兩側且相對而置。

4.如權利要求3所述的清潔裝置，其特征在于，

所述噴淋部件為一對，各噴淋部件可沿豎直方向滑動的安裝于所述殼體；

各噴淋部件的工作行程不小于掩膜板放置區(qū)域的高度，各噴淋部件的寬度不小于掩膜板放置區(qū)域的寬度。

5.如權利要求3所述的清潔裝置，其特征在于，所述清潔部件還包括：位于所述清潔腔內(nèi)且安裝于所述殼體的成對設置的至少一對毛刷部件，每對毛刷部件分別位于掩膜板放置區(qū)域的兩側且相對而置。

6.如權利要求5所述的清潔裝置，其特征在于，所述毛刷部件為一對，各毛刷部件可沿豎直方向滑動的安裝于所述殼體；

各毛刷部件的工作行程不小于掩膜板放置區(qū)域的高度，各毛刷部件的寬度不小于掩膜板放置區(qū)域的寬度。

7.如權利要求5所述的清潔裝置，其特征在于，各毛刷部件轉速相同且轉動方向相反。

8.如權利要求3-7任一項所述的清潔裝置，其特征在于，所述清潔部件還包括：位于所述清潔腔內(nèi)且安裝于所述殼體的成對設置的至少一對風刀部件，每對風刀部件分別位于掩膜板放置區(qū)域的兩側且相對而置。

9.如權利要求8所述的清潔裝置，其特征在于，所述風刀部件為一對，各風刀部件可沿豎直方向滑動的安裝于所述殼體；

各風刀部件的工作行程不小于掩膜板放置區(qū)域的高度，各風刀部件的寬度不小于掩膜板放置區(qū)域的寬度。

10.如權利要求9所述的清潔裝置，其特征在于，各風刀部件的氣體噴射口的延伸方向與水平方向具有預設夾角。