[實(shí)用新型]真空鍍膜室用的超高真空視鏡擋板機(jī)構(gòu)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201320142589.X
• 申請(qǐng)日: 2013-03-26
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN203212639U
• 公開(kāi)（公告）日: 2013-09-25
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 朱剛勁;朱剛毅;朱文廓
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 肇慶市騰勝真空技術(shù)工程有限公司
• 主分類號(hào): C23C14/52
• 分類號(hào): C23C14/52
• 代理公司: 廣州市華學(xué)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 44245
• 代理人: 裘暉

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及玻璃鍍膜設(shè)備領(lǐng)域，特別涉及一種真空鍍膜室用的超高真空視鏡擋板機(jī)構(gòu)。

背景技術(shù)

視鏡機(jī)構(gòu)是用于觀察真空鍍膜室內(nèi)工作情況的常用設(shè)備，視鏡機(jī)構(gòu)使用時(shí)，為了避免鍍膜時(shí)弧源濺射污染視鏡玻璃，一般在視鏡玻璃的內(nèi)側(cè)設(shè)置擋板，通過(guò)擋板的遮擋來(lái)保障視鏡玻璃的潔凈，當(dāng)需要觀察真空鍍膜室內(nèi)的工作狀況時(shí)，通過(guò)旋轉(zhuǎn)擋板使其打開(kāi)即可。目前的視鏡機(jī)構(gòu)中，擋板通過(guò)擋板軸直接與手動(dòng)調(diào)節(jié)元件連接，該結(jié)構(gòu)的擋板機(jī)構(gòu)簡(jiǎn)單易實(shí)現(xiàn)，但擋板機(jī)構(gòu)的密封僅靠在擋板軸外周設(shè)置密封圈實(shí)現(xiàn)，在實(shí)際應(yīng)用中，由于真空鍍膜室內(nèi)的溫度一般較高，使得其密封效果并不理想，密封圈也容易損壞，所以該結(jié)構(gòu)的擋板機(jī)構(gòu)無(wú)法應(yīng)用于真空度要求較高的超高真空鍍膜室。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種超高真空鍍膜室用的超高真空視鏡擋板機(jī)構(gòu)，其密封性能可達(dá)到零泄漏，可應(yīng)用于真空度要求較高的超高真空鍍膜室。

本實(shí)用新型的技術(shù)方案為：一種真空鍍膜室用的超高真空視鏡擋板機(jī)構(gòu)，包括磁鐵組件、磁鐵固定座、擋板軸和調(diào)節(jié)輪轉(zhuǎn)動(dòng)軸，磁鐵組件設(shè)于磁鐵固定座中部，磁鐵固定座嵌入真空鍍膜室的容器壁，磁鐵固定座內(nèi)，擋板軸和調(diào)節(jié)輪轉(zhuǎn)動(dòng)軸分別設(shè)于磁鐵組件的兩側(cè)，擋板軸的外端與擋板固定連接，調(diào)節(jié)輪轉(zhuǎn)動(dòng)軸的外端與調(diào)節(jié)輪固定連接。

所述磁鐵組件包括兩個(gè)磁鐵和兩個(gè)固定塊；磁鐵固定座的中部為帶有徑向隔板的圓筒結(jié)構(gòu)，即磁鐵固定座中部的軸線截面為工字形；兩個(gè)磁鐵分別設(shè)于徑向隔板的兩側(cè)并通過(guò)相應(yīng)的固定塊固定。

位于所述徑向隔板兩側(cè)的兩個(gè)固定塊的外側(cè)面分別與擋板軸和調(diào)節(jié)輪轉(zhuǎn)動(dòng)軸相接。

所述磁鐵固定座中部的圓筒結(jié)構(gòu)一端延伸嵌入真空鍍膜室的容器壁，圓筒結(jié)構(gòu)另一端延伸至調(diào)節(jié)輪處并帶有凸臺(tái)，凸臺(tái)通過(guò)連接座與真空鍍膜室的外壁固定連接。

所述擋板包括相連接的板體和連接板，板體與連接板之間呈階梯形設(shè)置，連接板通過(guò)固定柱與擋板軸相連接，連接板、固定柱和擋板軸之間通過(guò)螺釘鎖緊固定。

當(dāng)擋板處于關(guān)閉狀態(tài)時(shí)，所述擋板中的板體位于真空鍍膜室的視鏡玻璃內(nèi)側(cè)。

本真空鍍膜室用的超高真空視鏡擋板機(jī)構(gòu)使用時(shí)，當(dāng)擋板處于關(guān)閉狀態(tài)，擋板中的板體位于視鏡玻璃內(nèi)側(cè)，擋板遮擋視鏡玻璃，防止膜層污染視鏡玻璃；當(dāng)用戶需要觀察真空鍍膜室內(nèi)的工作狀況時(shí)，用戶轉(zhuǎn)動(dòng)調(diào)節(jié)輪，通過(guò)調(diào)節(jié)輪轉(zhuǎn)動(dòng)軸、磁鐵組件和擋板軸依次傳動(dòng)，帶動(dòng)擋板旋轉(zhuǎn)，使擋板打開(kāi)，用戶通過(guò)視鏡玻璃直接觀察真空鍍膜室內(nèi)的工作狀況，擋板的旋轉(zhuǎn)角度可為0～360°。擋板打開(kāi)時(shí)，磁鐵組件的傳動(dòng)原理是：真空室外的調(diào)節(jié)輪轉(zhuǎn)動(dòng)軸旋轉(zhuǎn)時(shí)，帶動(dòng)與其相接的磁鐵及固定塊轉(zhuǎn)動(dòng)，通過(guò)磁鐵的磁力作用，與真空室內(nèi)的擋板軸相接的磁鐵與固定塊也隨之同向轉(zhuǎn)動(dòng)，從而帶動(dòng)擋板軸及擋板旋轉(zhuǎn)，磁鐵固定座中的徑向隔板起密封作用。

本實(shí)用新型相對(duì)于現(xiàn)有技術(shù)，具有以下有益效果：

本真空鍍膜室用的超高真空視鏡擋板機(jī)構(gòu)中，采用磁鐵固定座內(nèi)的徑向隔板進(jìn)行密封，然后在徑向隔板的兩側(cè)通過(guò)磁鐵組件進(jìn)行動(dòng)力傳動(dòng)，徑向隔板與磁鐵固定座為一體結(jié)構(gòu)，將真空室內(nèi)的擋板和真空室外的調(diào)節(jié)輪的傳動(dòng)完全隔開(kāi)，無(wú)需傳動(dòng)聯(lián)接，而是靠磁場(chǎng)力傳遞轉(zhuǎn)矩，不存在需密封圈密封的問(wèn)題，可克服現(xiàn)有擋板機(jī)構(gòu)采用獨(dú)立密封圈所造成的溫度高易變形的現(xiàn)象，適用于任何真空度和高溫狀態(tài)的鍍膜室。

附圖說(shuō)明

圖1為本超高真空視鏡擋板機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合實(shí)施例及附圖，對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步的詳細(xì)說(shuō)明，但本實(shí)用新型的實(shí)施方式不限于此。

實(shí)施例

本實(shí)施例一種真空鍍膜室用的超高真空視鏡擋板機(jī)構(gòu)，如圖1所示，包括磁鐵組件、磁鐵固定座1、擋板軸2和調(diào)節(jié)輪轉(zhuǎn)動(dòng)軸3，磁鐵組件設(shè)于磁鐵固定座中部，磁鐵固定座嵌入真空鍍膜室的容器壁4，磁鐵固定座內(nèi)，擋板軸和調(diào)節(jié)輪轉(zhuǎn)動(dòng)軸分別設(shè)于磁鐵組件的兩側(cè)，擋板軸2的外端與擋板5固定連接，調(diào)節(jié)輪轉(zhuǎn)動(dòng)軸3的外端與調(diào)節(jié)輪6固定連接。

磁鐵組件包括兩個(gè)磁鐵7和兩個(gè)固定塊8；磁鐵固定座的中部為帶有徑向隔板1-1的圓筒結(jié)構(gòu)，即磁鐵固定座中部的軸線截面為工字形；兩個(gè)磁鐵分別設(shè)于徑向隔板的兩側(cè)并通過(guò)相應(yīng)的固定塊固定。

位于徑向隔板兩側(cè)的兩個(gè)固定塊的外側(cè)面分別與擋板軸和調(diào)節(jié)輪轉(zhuǎn)動(dòng)軸相接。

磁鐵固定座中部的圓筒結(jié)構(gòu)一端延伸嵌入真空鍍膜室的容器壁，圓筒結(jié)構(gòu)另一端延伸至調(diào)節(jié)輪處并帶有凸臺(tái)，凸臺(tái)通過(guò)連接座9與真空鍍膜室的外壁10固定連接。

擋板包括相連接的板體和連接板，板體與連接板之間呈階梯形設(shè)置，連接板通過(guò)固定柱11與擋板軸相連接，連接板、固定柱和擋板軸之間通過(guò)螺釘鎖緊固定。