[實用新型]蒸發鍍膜機用的離子轟擊組件有效
| 申請號: | 201320142571.X | 申請日: | 2013-03-26 |
| 公開(公告)號: | CN203212628U | 公開(公告)日: | 2013-09-25 |
| 發明(設計)人: | 朱剛勁;朱剛毅;朱文廓 | 申請(專利權)人: | 肇慶市騰勝真空技術工程有限公司 |
| 主分類號: | C23C14/24 | 分類號: | C23C14/24 |
| 代理公司: | 廣州市華學知識產權代理有限公司 44245 | 代理人: | 裘暉 |
| 地址: | 526060 廣*** | 國省代碼: | 廣東;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 蒸發 鍍膜 離子 轟擊 組件 | ||
1.蒸發鍍膜機用的離子轟擊組件,其特征在于,包括防護套、絕緣座和防護罩,絕緣座套于電極輸入棒外周,防護套設于絕緣座上部的外周,防護罩設于電極輸入棒底部并套于絕緣座外周。
2.根據權利要求1所述蒸發鍍膜機用的離子轟擊組件,其特征在于,所述電極輸入棒穿過蒸發鍍膜機的容器底板,絕緣座外周通過轟擊座與容器底板相接,轟擊座和絕緣座通過螺母鎖緊于容器底板上。
3.根據權利要求2所述蒸發鍍膜機用的離子轟擊組件,其特征在于,所述防護套位于容器底板上方,即防護套位于蒸發鍍膜機的容器內部;防護罩位于容器底板下方,即防護罩位于蒸發鍍膜機的容器外部。
4.根據權利要求1所述蒸發鍍膜機用的離子轟擊組件,其特征在于,所述防護套為單層的管狀結構。
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