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[實用新型]蒸發鍍膜機用的離子轟擊組件有效

專利信息
申請號: 201320142571.X 申請日: 2013-03-26
公開(公告)號: CN203212628U 公開(公告)日: 2013-09-25
發明(設計)人: 朱剛勁;朱剛毅;朱文廓 申請(專利權)人: 肇慶市騰勝真空技術工程有限公司
主分類號: C23C14/24 分類號: C23C14/24
代理公司: 廣州市華學知識產權代理有限公司 44245 代理人: 裘暉
地址: 526060 廣*** 國省代碼: 廣東;44
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 蒸發 鍍膜 離子 轟擊 組件
【權利要求書】:

1.蒸發鍍膜機用的離子轟擊組件,其特征在于,包括防護套、絕緣座和防護罩,絕緣座套于電極輸入棒外周,防護套設于絕緣座上部的外周,防護罩設于電極輸入棒底部并套于絕緣座外周。

2.根據權利要求1所述蒸發鍍膜機用的離子轟擊組件,其特征在于,所述電極輸入棒穿過蒸發鍍膜機的容器底板,絕緣座外周通過轟擊座與容器底板相接,轟擊座和絕緣座通過螺母鎖緊于容器底板上。

3.根據權利要求2所述蒸發鍍膜機用的離子轟擊組件,其特征在于,所述防護套位于容器底板上方,即防護套位于蒸發鍍膜機的容器內部;防護罩位于容器底板下方,即防護罩位于蒸發鍍膜機的容器外部。

4.根據權利要求1所述蒸發鍍膜機用的離子轟擊組件,其特征在于,所述防護套為單層的管狀結構。

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