[實用新型]一種潔凈度檢測裝置和系統(tǒng)

有效

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• 申請日: 2013-03-26
• 公開（公告）號: CN203259463U
• 公開（公告）日: 2013-10-30
• 發(fā)明（設計）人: 周慶高;張亮;馮忠;丁欣;徐大林;沈世妃;劉祖宏;吳代吾;侯智
• 申請（專利權）人: 合肥京東方光電科技有限公司;京東方科技集團股份有限公司
• 主分類號: G01N21/17
• 分類號: G01N21/17
• 代理公司: 北京派特恩知識產權代理事務所(普通合伙) 11270
• 代理人: 張穎玲;張振偉

技術領域

本實用新型涉及半導體工業(yè)領域，具體涉及一種潔凈度檢測裝置和系統(tǒng)。

背景技術

在光伏產業(yè)及半導體液晶顯示工業(yè)生產中均會利用到薄膜沉積和刻蝕等工藝，然而薄膜沉積和刻蝕工藝都對真空反應腔室內部的潔凈度要求較高，所以潔凈度檢測對于工業(yè)生產來說至關重要。

目前通用的檢測方法為：將白玻璃（Bare?Glass）傳送到真空反應腔室里并停留一段時間，然后將白玻璃從真空反應腔室中取出，檢測所取出的白玻璃表面上的微粒數量，并將檢測到的微粒數量作為真空反應腔室內部的潔凈度。

顯而易見，上述檢測方法存在以下缺點：檢測結果只是體現了白玻璃表面的潔凈度，實際上不能真正體現真空反應腔室內部的潔凈度；并且，檢測耗時較長，影響生產進度，因而影響到設備整體的產能；再有，在進行上述檢測時，會有氣體、電能的消耗，不節(jié)能。

實用新型內容

有鑒于此，本實用新型的主要目的在于提供一種潔凈度檢測裝置和系統(tǒng)，以簡單、精確地檢測出待檢測機構內部的潔凈度。

為達到上述目的，本實用新型的技術方案是這樣實現的：

一種潔凈度檢測裝置，該裝置包括光發(fā)射器、光接收器，所述光發(fā)射器和光接收器設置于待檢測機構上；其中，

所述光發(fā)射器用于向待檢測機構內發(fā)射光；

所述光接收器用于接收所述光發(fā)射器發(fā)射的光在待檢測機構內因微粒而發(fā)生光路變化后的光，并根據接收到的光檢測出待檢測機構內的潔凈度。

所述光發(fā)射器為一個或多個，所述光接收器為一個或多個。

一種潔凈度檢測系統(tǒng)，該系統(tǒng)包括待檢測機構，以及設置在待檢測機構上的光發(fā)射器，還包括設置在待檢測機構上的光接收器；其中，

所述光發(fā)射器用于向待檢測機構內發(fā)射光；

所述光接收器用于接收所述光發(fā)射器發(fā)射的光因微粒而發(fā)生光路變化后的光，并根據接收到的光檢測出待檢測機構內部的潔凈度。

光發(fā)射器和/或光接收器通過支架支撐在待檢測機構的視窗口上；或，

光發(fā)射器和/或光接收器通過緊固件固定在待檢測機構的視窗口上；或，

光發(fā)射器、光接收器嵌入待檢測機構的視窗口中。

所述視窗口是角度可變的視窗口。

所述視窗口包括以下至少一種轉軸：

在視窗口與待檢測機構之間的連接處設置有至少一個橫向轉軸；

在視窗口與待檢測機構之間的連接處設置有至少一個縱向轉軸；

在視窗口與待檢測機構之間的連接處設置至少一個斜向轉軸。

所述光發(fā)射器的光集成鏡頭覆蓋待檢測機構的視窗口的全部面積；或，

所述光發(fā)射器的光集成鏡頭只覆蓋待檢測機構的視窗口的部分面積。

所述光發(fā)射器的光集成鏡頭只覆蓋視窗口的部分面積時，所述光發(fā)射器安裝在能夠通過移動使光發(fā)射器覆蓋視窗口全部面積的移動裝置上。

在視窗口中設置有作為所述移動裝置的凹槽，光發(fā)射器安裝在該凹槽中；或者，

光發(fā)射器安裝在作為所述移動裝置的支架上。

所述待檢測機構的兩個長邊上分別設置有一個或多個視窗口，兩個短邊中的一個或兩個短邊上分別設置有一個或多個視窗口；

所述光發(fā)射器設置在所述短邊的視窗口上，所述光接收器設置在所述長邊的視窗口上；

所述光發(fā)射器、光接收器的數量分別為一個或多個。

本實用新型的潔凈度檢測裝置和系統(tǒng)屬于自動檢測裝置，能夠直接檢測待檢測機構內部的潔凈度，在實現簡單、精確的潔凈度檢測，提高潔凈度檢測效率的同時，能夠節(jié)省潔凈度檢測中的人工成本，提高人員利用率，提高產能。并且，可以實時進行潔凈度檢測，能夠有效保證良品率。

附圖說明

圖1為本實用新型實施例的潔凈度檢測原理示意圖；

圖2為本實用新型一實施例的激光發(fā)射器的示意圖；

圖3為本實用新型另一實施例的激光發(fā)射器的示意圖；

圖4為本實用新型實施例的潔凈度檢測的具體原理示意圖；

附圖標記說明：

1～2、Y視窗口；3～8、X視窗口；9、腔室門；10、光纖；11、激光發(fā)射器；12、激光集成鏡頭；13、真空反應腔室；14、激光接收器；15、反光鏡；16、光纖；17、光學過濾器；18、線狀電荷耦合器件（CCD）。

具體實施方式