[實用新型]剪切干涉測量裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201320141623.1 | 申請日： | 2013-03-15 |
| 公開（公告）號： | CN203241024U | 公開（公告）日： | 2013-10-16 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 徐建程 | 申請（專利權(quán)）人： | 浙江師范大學(xué) |
| 主分類號： | G01B9/02 | 分類號： | G01B9/02;G01B11/24 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 321004 *** | 國省代碼： | 浙江;33 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 剪切 干涉 測量 裝置 | ||
【權(quán)利要求書】：
1.一種剪切干涉測量裝置，其特征在于，沒有剪切板，僅包括干涉儀、參考鏡、測試鏡及平移臺；其中所述測試鏡固定在平移臺上，所述平移臺可沿水平、垂直方向平移，平移量等于干涉儀探測器中一個像素對應(yīng)物空間中測試面的尺寸大小；所述干涉儀、參考鏡及測試鏡的中心高度一致。?
下載完整專利技術(shù)內(nèi)容需要扣除積分，VIP會員可以免費下載。
該專利技術(shù)資料僅供研究查看技術(shù)是否侵權(quán)等信息，商用須獲得專利權(quán)人授權(quán)。該專利全部權(quán)利屬于浙江師范大學(xué)，未經(jīng)浙江師范大學(xué)許可，擅自商用是侵權(quán)行為。如果您想購買此專利、獲得商業(yè)授權(quán)和技術(shù)合作，請聯(lián)系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201320141623.1/1.html，轉(zhuǎn)載請聲明來源鉆瓜專利網(wǎng)。
