[實用新型]一種平板顯示設備加工機臺

有效

• 申請號: 201320140237.0
• 申請日: 2013-03-26
• 公開（公告）號: CN203192779U
• 公開（公告）日: 2013-09-11
• 發明（設計）人: 陸海峰;邱勇;金波
• 申請（專利權）人: 昆山維信諾顯示技術有限公司
• 主分類號: H01L21/687
• 分類號: H01L21/687
• 代理公司: 北京匯澤知識產權代理有限公司 11228
• 代理人: 朱振德

技術領域

本實用新型涉及一種設備機臺，特別是一種平板顯示制造領域用的設備機臺。

背景技術

現代顯示領域，薄膜晶體管液晶（TFT-LCD）顯示成為了主流顯示技術，而有機發光顯示技術（OLED）作為未來顯示技術也正在逐步成熟。不管是TFT-LCD還是OLED，通常都是在玻璃基板等透明材料上制作器件，而OLED甚至可以在塑料等柔性基板上制作器件。以玻璃作為顯示基板時，很多重要設備（比如化學氣相沉積、物理氣相沉積、激光晶化等工序所使用的設備）的機臺如圖1所示。在機臺上會有很多針孔，在玻璃基板被送進設備進行工藝加工前，這些針孔中會伸出支撐用針（PIN），玻璃基板被機械手臂放置在PIN上，然后PIN慢慢降低，最終將玻璃基板放置在機臺上。在多數制程工藝進行中，玻璃基板的溫度比較高，由于PIN的導熱作用，機臺針孔對應位置的溫度與周圍溫度會產生差異，若這些針孔的位置正好在產品的顯示區，則這種差異最后在產品上可能產生顯示不均，被稱為PIN?Mura。

實用新型內容

本實用新型要解決的技術問題是提供一種可使支撐用針有效避開顯示區域，提高產品顯示品質的平板顯示設備加工機臺。

為了解決上述技術問題，本實用新型提供了一種平板顯示設備加工機臺，包括機座和多個臺面，每個所述臺面分別通過移動機構安裝于所述機座上。

進一步地，所述臺面有兩個。

進一步地，所述臺面有四個，四個臺面呈矩形陣列排列。

進一步地，每個臺面分別通過橫向滑軌和縱向滑軌安裝于機座上。

進一步地，每個臺面分別通過機械臂安裝于機座上。

本實用新型的平板顯示設備加工機臺，通過將臺面分成多個，每個臺面可獨立移動，從而可以讓機臺上的針孔盡量避免落在產品的顯示區，進而提高了產品的顯示品質，降低了PIN?Mura的產生。

附圖說明

圖1是現有技術中顯示設備加工機臺的示意圖。

圖2是本實用新型的顯示設備加工機臺一實施例的示意圖。

圖3是本實用新型的顯示設備加工機臺的臺面移動范圍的示意圖。

圖4是本實用新型的顯示設備加工機臺的臺面與機座通過滑軌連接的實施例示意圖。

圖5是本實用新型的顯示設備加工機臺的臺面與機座通過機械臂連接的實施例示意圖。

圖中：1.臺面，2.?玻璃基板，3.顯示區域，4.針孔，5.縱向滑軌，6.橫向滑軌，7.機座，8.機械臂。

具體實施方式

下面結合附圖和具體實施例對本實用新型作進一步說明，以使本領域的技術人員可以更好的理解本實用新型并能予以實施，但所舉實施例不作為對本實用新型的限定。

在平板顯示設備加工時，一條生產線通常會生產多款產品，而在產品設計時為了最大限度的提高玻璃基板的利用率，不會特別地去規避針孔的位置，這就造成了在某些產品有很大的可能產生PIN?Mura。本實用新型將整個機臺分成多個部分，每個部分可以在XY兩個方向上獨立移動，就有可能將針孔的位置移出產品的顯示區。

如圖2所示，本實用新型的平板顯示設備加工機臺一實施例，包括機座7和多個臺面1，每個臺面1分別通過移動機構安裝于機座7上。通過移動機構，臺面1可以在x、y兩個方向上移動，通過對臺面1的移動，讓臺面1上的針孔4盡量避免落在產品的顯示區域3。從而提高了產品的顯示品質，降低了PIN?Mura的產生。根據需要，機臺的臺面可為兩個、四個和六個等。優選地，在圖2所示實施例中，機臺臺面1有四個，四個臺面1呈矩形陣列排列。

本實用新型實施時，臺面移動的范圍越大，越有利于規避PIN?Mura的發生。如圖3所示，以玻璃基板2的中心O為原點，臺面101可以向x的正方向和y的正方向移動，但它不能移出產品所在區域。因此，臺面101的最大移動范圍取決于P點的坐標（c，d）。在做產品設計時，在不影響玻璃基板2的利用率下，P點可以盡量遠離原點O，這樣可以增大機臺移動范圍。通常因為一些其它因素的考慮，玻璃基板2中央會有一定的排版禁區，如圖3所示，在x方向中央a寬度范圍內是不允許放置產品的，而y方向則有b寬度范圍是禁止區。以5.5代的AMOLED（有源陣列有機發光二極管）顯示屏生產線為例，a=b=30mm，因此機臺的移動范圍在x、y方向都至少大于15mm。