[實用新型]一種可防水汽的電容式微型麥克風

有效

• 申請號: 201320138915.X
• 申請日: 2013-03-25
• 公開（公告）號: CN203206467U
• 公開（公告）日: 2013-09-18
• 發明（設計）人: 萬蔡辛;楊少軍
• 申請（專利權）人: 北京卓銳微技術有限公司
• 主分類號: H04R19/04
• 分類號: H04R19/04
• 代理公司: 北京科龍寰宇知識產權代理有限責任公司 11139
• 代理人: 孫皓晨;李涵

1.一種可防水汽的電容式微型麥克風，其特征在于，其包括：摻雜基板(1)、至少一防水絕緣層(3)、犧牲層(4)、振膜(5)及聲腔(6)，其中，在所述摻雜基板(1)上方淀積有所述至少一防水絕緣層(3)及所述犧牲層(4)，在所述防水絕緣層（3）和犧牲層（4）上方，并在所述摻雜基板(1)的中心區淀積有所述振膜(5)，所述振膜(5)與所述摻雜基板(1)之間通過移除所述犧牲層(4)后的空隙形成電容器，所述振膜(5)的下部設置所述聲腔(6)，所述聲腔(6)從摻雜基板(1)上對應于設置所述振膜(5)的中心區域貫穿整個摻雜基板(1)。

2.根據權利要求1所述的一種可防水汽的電容式微型麥克風，其特征在于，所述摻雜基板(1)在靠近所述振膜(5)一側設置有摻雜基板電極(2)，所述摻雜基板電極(2)與摻雜基板(1)電性連接。

3.根據權利要求1所述的一種可防水汽的電容式微型麥克風，其特征在于，在所述振膜(5)上設置有振膜電極(7)，所述振膜電極(7)與振膜(5)電性連接。

4.根據權利要求1所述的一種可防水汽的電容式微型麥克風，其特征在于，所述的防水絕緣層（3）附著在靠近振膜（5）的面上。

5.根據權利要求1所述的一種可防水汽的電容式微型麥克風，其特征在于，所述的防水絕緣層（3）附著在靠近摻雜基板（1）的面上。

6.根據權利要求1所述的一種可防水汽的電容式微型麥克風，其特征在于，所述振膜(5)上，并且在對應聲腔(6)的中心區域以外，設有刻蝕槽或刻蝕孔。