[實用新型]霧化異丙醇基片干燥設備

有效

• 申請號: 201320137901.6
• 申請日: 2013-03-25
• 公開（公告）號: CN203155611U
• 公開（公告）日: 2013-08-28
• 發明（設計）人: 瞿稚華;趙國飛;唐春銘;王飛
• 申請（專利權）人: 上海旭熠電子技術有限公司
• 主分類號: B08B3/04
• 分類號: B08B3/04;F26B21/00
• 代理公司: 上海東亞專利商標代理有限公司 31208
• 代理人: 董梅

1.一種霧化異丙醇基片干燥設備，由電氣控制，包括外殼、干燥槽體（1）、異丙醇存放罐、霧化裝置和氮氣加熱器（6），基片花籃（9）放在密閉的干燥槽體（1）內干燥，其特征在于，所述的霧化裝置由噴霧蓋（3）、和分別連接噴霧蓋（3）和異丙醇存放罐（7）的霧化管道（5）構成，一去靜電裝置（4）安裝在噴霧蓋（3）上；所述的干燥槽體（1）內設有頂升支架（2），上口四面有溢流道（11），四周板不垂直向內有斜度，槽底有傾斜的孔板（8），且底部帶有純水進水的注水管（12）和帶有可調速排放閥的排水管（13）。

2.根據權利要求1所述的霧化異丙醇基片干燥設備，其特征在于，所述的頂升支架（2）傾斜，底部橫桿（21）帶有一定的傾斜角，兩側帶導向，基片花籃放入后，基片被底部橫桿（21）頂起，并相應地傾斜。

3.根據權利要求1所述的霧化異丙醇基片干燥設備，其特征在于，所述的噴霧蓋（3）由氣缸驅動與氮氣加熱器（6）連接，其內集成了霧化噴頭（31）和去靜電裝置（4）。

4.根據權利要求1所述的霧化異丙醇基片干燥設備，其特征在于，所述的霧化管道（5）由316EP不銹鋼，氟塑料制成。