[實用新型]半導體行業工廠節水用水系統有效
| 申請號： | 201320135858.X | 申請日： | 2013-03-25 |
| 公開（公告）號： | CN203200111U | 公開（公告）日： | 2013-09-18 |
| 發明（設計）人： | 丁少華;孫葉鳳 | 申請（專利權）人： | 上海華強環保設備工程有限公司 |
| 主分類號： | C02F9/04 | 分類號： | C02F9/04;C02F9/02 |
| 代理公司： | 上海浦東良風專利代理有限責任公司 31113 | 代理人： | 陳志良 |
| 地址： | 201210 上*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 半導體 行業 工廠 節水 水系 | ||
【權利要求書】：
1.一種半導體行業工廠節水用水系統，其特征在于：所述的節水用水系統包括順序連接的預處理過濾器和超純水UPW系統；所述的超純水UPW系統的一路為企業半導體生產用水，順序連接第二收集槽和膜過濾器，另一路與第一收集槽連接；所述第一收集槽的出水分為三路，一路為企業冷卻塔系統補水用水，一路為企業生活區沖廁所用水，還有一路為預處理過濾器的反沖洗用水；所述的膜過濾器還與超純水UPW系統中的第二級反滲透器連接，將所述的半導體生產用水進行固液分離后的水回收作為第二級反滲透器補給用水。
2.根據權利要求?1?所述的半導體行業工廠節水用水系統，其特征在于：所述的膜過濾器采用管式或者平板式超濾膜過濾器，并與壓濾機相連，所述的壓濾機與第二收集槽管道連接。
3.根據權利要求?1?所述的半導體行業工廠節水用水系統，其特征在于：所述預處理過濾器的出水先采用離子交換劑進行軟化處理后再進入超純水UPW系統，所述的離子交換劑為強酸陽離子樹脂。
4.根據權利要求?1?所述的半導體行業工廠節水用水系統，其特征在于：所述企業冷卻塔系統補給用水經過水質穩定劑處理后再供給冷卻塔，所述水質穩定劑的投加量為80-120mg/L。
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