[實(shí)用新型]基于寄生運(yùn)動(dòng)原理的高效微陣列加工裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201320132154.7
• 申請(qǐng)日: 2013-03-22
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN203112491U
• 公開(kāi)（公告）日: 2013-08-07
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 黃虎;趙宏偉;史成利;崔濤;方岱寧;周浩;裴永茂
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 吉林大學(xué)
• 主分類(lèi)號(hào): B81C1/00
• 分類(lèi)號(hào): B81C1/00
• 代理公司: 吉林長(zhǎng)春新紀(jì)元專(zhuān)利代理有限責(zé)任公司 22100
• 代理人: 王怡敏

1.一種基于寄生運(yùn)動(dòng)原理的高效微陣列加工裝置，其特征在于：包括z向粗定位單元（8）、z向精密定位單元、金剛石工具頭加工運(yùn)動(dòng)生成單元、試件定位與安裝單元以及基礎(chǔ)支撐單元，所述的z向粗定位單元（8）、試件定位與安裝單元安裝在基礎(chǔ)支撐單元上，z向精密定位單元和金剛石工具頭加工運(yùn)動(dòng)生成單元安裝在z向粗定位單元（8）上。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于寄生運(yùn)動(dòng)原理的高效微陣列加工裝置，其特征在于：所述的基礎(chǔ)支撐單元由底座（1）和龍門(mén)立柱（2）組成。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于寄生運(yùn)動(dòng)原理的高效微陣列加工裝置，其特征在于：所述的試件定位與安裝單元包括導(dǎo)軌滑塊組件（13）、y向定位單元（14）和x向定位單元（15），試件（12）通過(guò)熔融石蠟粘貼在導(dǎo)軌滑塊組件（13）上面；y向定位單元（14）和x向定位單元（15）為伺服電機(jī)通過(guò)滾珠絲杠帶動(dòng)動(dòng)子沿導(dǎo)軌實(shí)現(xiàn)直線(xiàn)運(yùn)動(dòng)的結(jié)構(gòu)，可以實(shí)現(xiàn)試件（12）沿x向和y向的定位。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于寄生運(yùn)動(dòng)原理的高效微陣列加工裝置，其特征在于：所述的z向粗定位單元（8）與y向定位單元（14）、x向定位單元（15）具有相同的驅(qū)動(dòng)和傳動(dòng)形式，可以實(shí)現(xiàn)金剛石工具頭（11）沿z向的粗定位。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于寄生運(yùn)動(dòng)原理的高效微陣列加工裝置，其特征在于：所述的z向精密定位單元包括z向精密定位鉸鏈（5）、壓電疊堆b（6）、預(yù)緊螺釘（7），壓電疊堆b（6）嵌入在z向精密定位鉸鏈（5）方槽內(nèi)，并通過(guò)預(yù)緊螺釘（7）實(shí)現(xiàn)預(yù)緊。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于寄生運(yùn)動(dòng)原理的高效微陣列加工裝置，其特征在于：所述的金剛石工具頭加工運(yùn)動(dòng)生成單元包括壓電疊堆a(bǔ)（3）、驅(qū)動(dòng)鉸鏈（4）、應(yīng)變片（9）、鎖緊螺釘（10）、金剛石工具頭（11），壓電疊堆a(bǔ)（3）嵌入在驅(qū)動(dòng)鉸鏈（4）的凹槽內(nèi)，并通過(guò)薄銅片進(jìn)行預(yù)緊；驅(qū)動(dòng)鉸鏈（4）具有平行四邊形放大和杠桿放大兩級(jí)放大結(jié)構(gòu)，應(yīng)變片（9）粘貼在驅(qū)動(dòng)鉸鏈（4）雙圓孔薄弱區(qū)域處，并搭建成全橋測(cè)量形式；金剛石工具頭（11）通過(guò)鎖緊螺釘（10）安裝在驅(qū)動(dòng)鉸鏈（4）前端的圓孔中。