[實用新型]一種帶清洗、烘干裝置的蝕刻、去膜生產線系統有效

申請號：	201320129549.1	申請日：	2013-03-20
公開（公告）號：	CN203136340U	公開（公告）日：	2013-08-14
發明（設計）人：	何公明	申請（專利權）人：	寧波東盛集成電路元件有限公司
主分類號：	H05K3/00	分類號：	H05K3/00;H01L21/67
代理公司：	上海申新律師事務所 31272	代理人：	竺路玲
地址：	315800 浙***	國省代碼：	浙江;33
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摘要：
搜索關鍵詞：	一種清洗烘干裝置蝕刻生產線系統
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【權利要求書】：

1.一種帶清洗、烘干裝置的蝕刻、去膜生產線系統，其特征在于，包括：印刷裝置、曝光裝置、顯影裝置、蝕刻裝置、清洗裝置，所述曝光裝置分別與所述印刷裝置以及顯影裝置連接，所述蝕刻裝置的后段與所述清洗裝置連接，所述顯影裝置的后段與所述蝕刻裝置連接，所述清洗裝置的后段與去膜裝置連接、所述去膜裝置后段與水洗裝置連接，所述水洗裝置的后段與烘干裝置連接。?

2.根據權利要求1所述的帶清洗、烘干裝置的蝕刻、去膜生產線系統，其特征在于，所述清洗裝置與所述去膜裝置之間設有膨松裝置。?

3.根據權利要求1所述的帶清洗、烘干裝置的蝕刻、去膜生產線系統，其特征在于，所述清洗裝置的外側設有第一報警裝置。?

4.根據權利要求1所述的帶清洗、烘干裝置的蝕刻、去膜生產線系統，其特征在于，所述水洗裝置外側設有第二報警裝置。?

5.根據權利要求1所述的帶清洗、烘干裝置的蝕刻、去膜生產線系統，其特征在于，在所述印刷裝置、曝光裝置、顯影裝置、蝕刻裝置以及清洗裝置的外側設有一罩體，所述罩體外側設有一空氣過濾器。?

6.根據權利要求2所述的帶清洗、烘干裝置的蝕刻、去膜生產線系統，其特征在于，所述清洗裝置與所述膨松裝置之間設有檢測裝置。?

7.根據權利要求1所述的帶清洗、烘干裝置的蝕刻、去膜生產線系統，其特征在于，所述烘干裝置為真空電加熱烘干機。?

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