[實用新型]一種半導體硅片調向器

有效

• 申請號: 201320129332.0
• 申請日: 2013-03-20
• 公開（公告）號: CN203179848U
• 公開（公告）日: 2013-09-04
• 發明（設計）人: 黃福仁;林勇
• 申請（專利權）人: 福建省安特半導體有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 福州市鼓樓區京華專利事務所(普通合伙) 35212
• 代理人: 宋連梅

1.一種半導體硅片調向器，其特征在于：包括一基座、活動塊、支撐桿、橡膠棍、轉盤以及手柄；所述基座中部開設有用于鑲嵌所述橡膠輥的第一開口，且基座上表面開設有兩凹槽，兩凹槽以第一開口為中心對稱設置，所述基座底部四周均設置有一支撐腳；所述活動塊兩側壁均向外垂直延伸有一連接部，該連接部設于基座底面的一滑道內，以利于活動塊在第一開口內上下移動，所述活動塊中部開設有第二開口，該第二開口上架設有所述支撐桿，該支撐桿上套設有所述橡膠輥，且橡膠輥的位置與所述第一開口相對應；所述轉盤設置于所述基座的側壁，且該轉盤通過一螺釘與所述支撐桿連接；所述手柄垂直設置于所述轉盤上。

2.根據權利要求1所述的一種半導體硅片調向器，其特征在于：所述轉盤截面為圓形。

3.根據權利要求1所述的一種半導體硅片調向器，其特征在于：所述活動塊的連接部通過一螺栓鉸接連接于基座的滑道內。